[發明專利]一種硅晶片精拋光組合物及制備方法

有效

• 申請號: 201410758563.7
• 申請日: 2014-12-10
• 公開（公告）號: CN104530987A
• 公開（公告）日: 2015-04-22
• 發明（設計）人: 潘國順;顧忠華;龔樺;鄒春莉;羅桂海;王鑫;陳高攀
• 申請（專利權）人: 深圳市力合材料有限公司;清華大學;深圳清華大學研究院
• 主分類號: C09G1/02
• 分類號: C09G1/02;H01L21/304
• 代理公司: 深圳市鼎言知識產權代理有限公司 44311
• 代理人: 哈達

1.一種硅晶片精拋光組合物，其特征在于，該組合物包括二氧化硅溶膠、羥基含氮堿性化合物、羥基羧基酸性化合物、堿性化合物、高分子化合物、表面活性劑和去離子水；所述二氧化硅溶膠中磨粒的粒徑為0.1-10nm。

2.根據權利要求1所述的組合物，其特征在于，所述組合物各組分配比如下：

3.根據權利要求1或2所述的組合物，其特征在于，所述二氧化硅溶膠是粒徑為0.1～10nm的膠體二氧化硅，pH小于6的酸性硅溶膠。

4.根據權利要求3所述的組合物，其特征在于，所述羥基羧基酸性化合物為檸檬酸、水楊酸、羥基乙酸、蘋果酸、乳酸中的一種。

5.根據權利要求3所述的組合物，其特征在于，所述羥基含氮堿性化合物為異丙醇胺、乙醇胺、二乙醇胺、三乙醇胺中的一種。

6.根據權利要求3所述的組合物，其特征在于，所述高分子化合物為纖維素，具體為羧甲基纖維素、磺酸乙基纖維素、羧甲基羥乙基纖維素、羧乙基甲基纖維素、羥丙基甲基纖維素、羥丁基甲基纖維素、羥乙基纖維素中的一種或幾種。

7.根據權利要求3所述的組合物，其特征在于，所述表面活性劑為非離子表面活性劑。非離子表面活性劑為聚乙烯醇(PVA)、聚乙二醇(PEG)、聚乙烯醚(PEO)、吐溫(TWEEN)中的一種或幾種。

8.根據權利要求3所述的組合物，其特征在于，所述堿性化合物為碳酸銨、碳酸氫銨、氨水、四甲基氫氧化銨、四乙基氫氧化銨、四丙基氫氧化銨、四丁基氫氧化銨、三甲基羥乙基氫氧化銨、二甲基二羥乙基氫氧化銨、無水哌嗪或六水哌嗪中的一種或幾種。

9.根據權利要求3所述的組合物，其特征在于，所述組合物的pH為8～12。

10.根據權利要求3所述的組合物，其特征在于，所述組合物含0.1～10nm酸性硅溶膠8wt％，含0.1wt％羥基乙酸、0.4wt％二乙醇胺、0.3wt％羥乙基纖維素、0.05wt％羥丙基甲基纖維素、0.3wt％聚乙烯醚、2.0wt％氨水。

11.根據權利要求1-10項中任一項所述的組合物的制備方法，其特征在于，該方法包括以下步驟：

(1)在容器1中，加入將分散于水中并高速攪拌的0.1～10nm的酸性納米二氧化硅溶膠與羥基羧基酸性化合物混合，攪拌5分鐘以上；

(2)向容器1中加入羥基含氮堿性化合物，攪拌5分鐘以上；

(3)在容器2中，加入纖維素高分子化合物，再加入表面活性劑，攪拌5分鐘以上；

(4)向容器2中再加入容器1中的混合物，攪拌5分鐘以上；

(5)加入堿性化合物，攪拌混合后得到成品。