[發明專利]光阻解凝機無效
| 申請號： | 201410735017.1 | 申請日： | 2015-08-04 |
| 公開（公告）號： | CN104492324A | 公開（公告）日： | 2015-07-29 |
| 發明（設計）人： | 徐彬;方仲賢;徐濤 | 申請（專利權）人： | 深圳市華星光電技術有限公司 |
| 主分類號： | B01F9/00 | 分類號： | B01F9/00 |
| 代理公司： | 深圳翼盛智成知識產權事務所(普通合伙) 44300 | 代理人： | 黃威 |
| 地址： | 518132 廣東*** | 國省代碼： | 廣東;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 光阻解凝機 | ||
1.一種光阻解凝機，其特征在于，所述光阻解凝機包括：
一機臺；
一轉動構件，設置于所述機臺上，所述轉動構件用于帶動光阻容器轉動，其中，所述光阻容器裝有光阻材料；
至少一傳動構件，與所述轉動構件連接；
一電動機，設置于所述機臺上，所述電動機與至少一所述傳動構件連接，用于通過所述傳動構件帶動所述轉動構件轉動。
2.根據權利要求1所述的光阻解凝機，其特征在于，所述轉動構件包括：
至少兩轉動柱，相鄰兩所述轉動柱用于共同承載所述光阻容器，以及用于共同帶動所述光阻容器轉動。
3.根據權利要求2所述的光阻解凝機，其特征在于，相鄰兩所述轉動柱的第一轉軸位于同一平面上，并且相互平行，相鄰兩所述轉動柱之間具有一第一間隙，所述第一間隙小于所述光阻容器的橫截面的最大內切圓的直徑；
相鄰兩所述轉動柱的轉動方向相同，相鄰兩所述轉動柱的轉動速度相同。
4.根據權利要求3所述的光阻解凝機，其特征在于，相鄰兩所述轉動柱的第一轉軸位于同一水平面或斜面上。
5.根據權利要求1所述的光阻解凝機，其特征在于，所述轉動構件包括：
一第一旋轉基座，用于承載并固定所述光阻容器，以及用于帶動所述光阻容器繞第二轉軸轉動。
6.根據權利要求5所述的光阻解凝機，其特征在于，所述第一旋轉基座用于固定所述光阻容器的一端；
所述光阻解凝機還包括：
第二旋轉基座，所述第二旋轉基座用于固定所述光阻容器的另一端，以及用于協助所述光阻容器轉動，所述第二旋轉基座的轉軸與所述第二轉軸共線。
7.根據權利要求5所述的光阻解凝機，其特征在于，所述第二轉軸與水平面之間的第三夾角處于0至90度的范圍內。
8.根據權利要求1所述的光阻解凝機，其特征在于，所述轉動構件包括：
至少兩滾輪組，相鄰兩所述滾輪組用于共同承載所述光阻容器，以及用于共同帶動所述光阻容器轉動；
其中，所述滾輪組包括至少兩個滾輪，所述滾輪組中的至少兩所述滾輪串接于第三轉軸上。
9.根據權利要求8所述的光阻解凝機，其特征在于，相鄰兩所述滾輪組的第三轉軸位于同一平面上，并且相互平行，相鄰兩所述滾輪組之間具有一第二間隙，所述第二間隙小于所述光阻容器的橫截面的最大內切圓的直徑；
相鄰兩所述滾輪組的轉動方向相同，相鄰兩所述滾輪組的轉動速度相同。
10.根據權利要求9所述的光阻解凝機，其特征在于，相鄰兩所述滾輪組的第三轉軸位于同一水平面或斜面上。
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