[發(fā)明專(zhuān)利]一種紫外光譜可調(diào)諧光源有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201410734892.8 | 申請(qǐng)日： | 2014-12-04 |
| 公開(kāi)（公告）號(hào)： | CN104359554A | 公開(kāi)（公告）日： | 2015-02-18 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 吳柯萱;王加朋;孫紅勝;孫廣尉 | 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人： | 北京振興計(jì)量測(cè)試研究所 |
| 主分類(lèi)號(hào)： | G01J3/10 | 分類(lèi)號(hào)： | G01J3/10 |
| 代理公司： | 北京天達(dá)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 11386 | 代理人： | 馬東偉;暴茜 |
| 地址： | 100074 北京*** | 國(guó)省代碼： | 北京;11 |
| 權(quán)利要求書(shū)： | 查看更多 | 說(shuō)明書(shū)： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 紫外 光譜 調(diào)諧 光源 | ||
1.一種紫外光譜可調(diào)諧光源，包括依次串聯(lián)的光源系統(tǒng)、準(zhǔn)直系統(tǒng)、色散系統(tǒng)、光譜調(diào)制系統(tǒng)、投影系統(tǒng)和均勻混光系統(tǒng)；所述準(zhǔn)直系統(tǒng)以及所述投影系統(tǒng)均由球面反射鏡組成，所述色散系統(tǒng)由平面衍射光柵和一個(gè)球面反射鏡組成，所述光譜調(diào)制系統(tǒng)包括變形鏡，所述紫外光譜可調(diào)諧光源能夠?qū)崿F(xiàn)光譜范圍從300nm到400nm光譜組成成分可調(diào)以及光斑亮度可調(diào)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的紫外光譜可調(diào)諧光源，其特征在于所述平面衍射光柵是平面刻畫(huà)光柵，所述平面刻畫(huà)光柵刻線(xiàn)密度范圍為300線(xiàn)/mm到3600線(xiàn)/mm。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的紫外光譜可調(diào)諧光源，其特征在于所述三個(gè)球面反射鏡的參數(shù)均為：口徑范圍為10mm～500mm，反射鏡曲率半徑R1范圍為30mm～1000mm。
4.根據(jù)權(quán)利要求1至3任一所述的紫外光譜可調(diào)諧光源，其特征在于所述三個(gè)球面反射鏡的反射面反射膜均為高反膜。
5.根據(jù)權(quán)利要求1至3任一所述的紫外光譜可調(diào)諧光源，其特征在于所述平面衍射光柵固定在準(zhǔn)直系統(tǒng)后方。
6.根據(jù)權(quán)利要求1至3任一所述的紫外光譜可調(diào)諧光源，其特征在于所述均勻混光系統(tǒng)采用全反射方式進(jìn)行混光。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的紫外光譜可調(diào)諧光源，所述均勻混光系統(tǒng)包括導(dǎo)光棒。
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