[發(fā)明專利]涂敷裝置及其改良方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201410705063.7
• 申請(qǐng)日: 2014-11-26
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN105312193B
• 公開(kāi)（公告）日: 2018-11-16
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 魏志丹;橫山雅樹(shù)
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 中外爐工業(yè)株式會(huì)社
• 主分類號(hào): B05C5/02
• 分類號(hào): B05C5/02;B05C13/00
• 代理公司: 中科專利商標(biāo)代理有限責(zé)任公司 11021
• 代理人: 劉文海

本發(fā)明提供一種涂敷裝置及其改良方法，該涂敷裝置具備涂敷對(duì)象物的移送功能，能夠使設(shè)備節(jié)約空間化，并且在因設(shè)備的布局變更等進(jìn)行移動(dòng)設(shè)置時(shí)，也不會(huì)招致成本提高。在涂敷裝置(1)中，具有噴出涂敷液的噴嘴(7)的移動(dòng)體(6)與載置于工作臺(tái)(4)的基板(3)相對(duì)移動(dòng)，向基板涂敷從噴嘴噴出的涂敷液，支承基板且將其向工作臺(tái)移送的支承臂(10)設(shè)于移動(dòng)體。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及涂敷裝置及其改良方法，該涂敷裝置具備涂敷對(duì)象物的移送功能，能夠使設(shè)備節(jié)約空間化，并且即便因設(shè)備的布局變更等進(jìn)行移動(dòng)設(shè)置時(shí)，也不會(huì)招致成本提高。

背景技術(shù)

作為使涂敷涂敷液的噴嘴與涂敷對(duì)象物相對(duì)地移動(dòng)且向涂敷對(duì)象物涂敷涂敷液的涂敷裝置，例如，已知有專利文獻(xiàn)1。在專利文獻(xiàn)1的“涂敷裝置及涂敷方法、以及濾色器制造裝置及制造方法”的涂敷方法中，通過(guò)一邊使具有噴出涂敷液的噴出口的涂敷器向保持在工作臺(tái)上的基板的涂敷位置移動(dòng)，一邊從該涂敷器噴出涂敷液，從而在基板表面上形成涂膜，所述工作臺(tái)能夠不重疊地保持多個(gè)基板，在向載置于該工作臺(tái)上的任意基板保持位置的基板形成涂膜期間，在其他的基板保持位置處進(jìn)行基板的排出和/或基板的載置。

尤其是，向工作臺(tái)搬入基板且從工作臺(tái)搬出基板的移動(dòng)載置裝置(機(jī)器人)相對(duì)于設(shè)置有工作臺(tái)的基底，設(shè)置在基板搬運(yùn)方向上游側(cè)以及下游側(cè)。

專利文獻(xiàn)1：日本特開(kāi)2002-102771號(hào)公報(bào)

在背景技術(shù)中，涂敷裝置與進(jìn)行基板的搬入搬出的機(jī)器人等移動(dòng)載置裝置獨(dú)立設(shè)置。因此，需要能夠設(shè)置涂敷裝置以及移動(dòng)載置裝置這兩者的寬敞空間。另外，在進(jìn)行設(shè)備的布局變更、設(shè)備的轉(zhuǎn)移等時(shí)，出于工廠等的空間狹小等理由，有可能無(wú)法將涂敷裝置與移動(dòng)載置裝置設(shè)置到期望的位置，在無(wú)法使用既有的移動(dòng)載置裝置來(lái)對(duì)涂敷裝置進(jìn)行基板的搬入搬出的情況下，必須重新購(gòu)入或制作移動(dòng)載置裝置，因此存在有成本提高這樣的課題。

發(fā)明內(nèi)容

【發(fā)明要解決的課題】

本發(fā)明是鑒于上述以往的課題而作出的，其目的在于提供一種涂敷裝置及其改良方法，該涂敷裝置具備涂敷對(duì)象物的移送功能，能夠使設(shè)備節(jié)約空間化，并且在因設(shè)備的布局變更等進(jìn)行移動(dòng)設(shè)置時(shí)，也不會(huì)招致成本提高。

【用于解決課題的方案】

在本發(fā)明的涂敷裝置中，具有噴出涂敷液的噴嘴的噴嘴單元與載置于工作臺(tái)的涂敷對(duì)象物相對(duì)移動(dòng)，向涂敷對(duì)象物涂敷從該噴嘴噴出的涂敷液，所述涂敷裝置的特征在于，支承涂敷對(duì)象物且將其向所述工作臺(tái)移送的支承臂設(shè)于所述噴嘴單元。

本發(fā)明的特征在于，所述工作臺(tái)具備支承涂敷對(duì)象物且能夠升降的頂桿，所述支承臂進(jìn)入到處于借助所述頂桿而上升后的狀態(tài)的涂敷對(duì)象物的下方，通過(guò)該頂桿下降，所述支承臂對(duì)涂敷對(duì)象物進(jìn)行支承，所述頂桿通過(guò)上升而抬起支承于所述支承臂的狀態(tài)下的涂敷對(duì)象物并對(duì)其進(jìn)行支承。

本發(fā)明的特征在于，所述支承臂以上下方向的軸為中心，在能夠?qū)χС杏谒鲰敆U的涂敷對(duì)象物進(jìn)行支承的支承位置和從支承于該頂桿的涂敷對(duì)象物退避的退避位置之間沿水平方向回旋。

本發(fā)明的涂敷裝置的改良方法的特征在于，包含如下工序而對(duì)既有的涂敷裝置進(jìn)行改良，在所述工序中，在具有噴出涂敷液的噴嘴的噴嘴單元與載置于工作臺(tái)的涂敷對(duì)象物相對(duì)移動(dòng)、向涂敷對(duì)象物涂敷從該噴嘴噴出的涂敷液的既有的涂敷裝置的該噴嘴單元中，附加支承涂敷對(duì)象物且將其向所述工作臺(tái)移送的支承臂。

【發(fā)明效果】

在本發(fā)明的涂敷裝置及其改良方法中，具備涂敷對(duì)象物的移送功能，能夠使設(shè)備節(jié)約空間化，并且在因設(shè)備的布局變更等進(jìn)行移動(dòng)設(shè)置時(shí)，也能夠防止成本提高。

附圖說(shuō)明

圖1是表示本發(fā)明的涂敷裝置及其改良方法的一優(yōu)選實(shí)施方式的立體圖。