[發明專利]硫化鋅硬度的增加

有效

• 申請號: 201410698875.3
• 申請日: 2014-09-26
• 公開（公告）號: CN104591260B
• 公開（公告）日: 2017-04-19
• 發明（設計）人: J·S·格拉;H·王;柏樺;M·A·皮克林
• 申請（專利權）人: 羅門哈斯電子材料有限公司;陶氏環球技術有限公司
• 主分類號: C01G9/08
• 分類號: C01G9/08;C01B19/00;C23C16/30
• 代理公司: 上海專利商標事務所有限公司31100
• 代理人: 陳哲鋒

1.一種組合物，所述組合物包含無色透明硫化鋅和0.5摩爾％至10摩爾％的摻雜物，所述摻雜物為硒和選自鎵、鋁和硅的一種或多種摻雜物。

2.權利要求1的組合物，其中摻雜物的量為1摩爾％至6摩爾％。

3.一種方法，所述方法包括：

a)提供鋅源、硫源和選自硒、鎵、鋁和硅中的一種或多種摻雜物源；

b)向包含惰性氣體的化學氣相沉積腔室注入0.2-1slpm鋅源氣體，0.1-0.9slpm硫源氣體，和0.01slpm-0.1slpm一種或多種硒、鎵、鋁和硅源氣體，化學氣相沉積腔室壓力范圍為20-50Torr；及

c)在基體上化學氣相沉積一層或多層含硫化鋅和0.5摩爾％至10摩爾％選自硒、鎵、鋁和硅的一種或多種摻雜物的組合物，基體溫度為600℃-800℃。

4.權利要求3的方法，進一步包括對含硫化鋅和0.5摩爾％至10摩爾％選自硒、鎵、鋁和硅的一種或多種摻雜物的組合物進行熱等靜壓(hipping)。

5.一種部件，所述部件包含基體和一層或多層含無色透明硫化鋅和0.5摩爾％至10摩爾％的摻雜物的組合物層，所述摻雜物為硒和選自鎵、鋁和硅的一種或多種摻雜物。

6.權利要求5的部件，其中摻雜物的量為1摩爾％至6摩爾％。

7.權利要求5的部件，其中基體為圓頂或窗口。