[發明專利]半導體制程氣體輸送管道安裝施工方法

有效

• 申請號: 201410667366.4
• 申請日: 2014-11-20
• 公開（公告）號: CN104455722A
• 公開（公告）日: 2015-03-25
• 發明（設計）人: 胡笳;胡剛;夏葵;崔永祥;林吉勇;劉成;林雪梅
• 申請（專利權）人: 成都市第三建筑工程公司;成都市工業設備安裝公司
• 主分類號: F16L1/024
• 分類號: F16L1/024
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

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技術領域

本發明涉及一種管道安裝工藝，具體地說，是涉及一種半導體制程氣體輸送管道安裝施工方法。

背景技術

高純特種氣體作為電子工廠摻雜、外延、離子注入、蝕刻等半導體制程必不可少的特殊氣體，如硅烷SiH4、AsH3、砷烷AsH3等，具有自燃性、可燃性、毒性等高危特性，是精密電子元器件、新能源光電產品制造的重要原料。若氣體輸送系統在運行過程中出現泄漏或者尾氣收集處理不到位，將會造成非常嚴重的安全事故。SiH4的自燃性，只要一泄漏就會與空氣中的氧氣起劇烈反應，開始燃燒；AsH3的劇毒性，任何細微的泄漏都可能造成人員生命的危害，同時多種類的氣體輸送控制也是系統正常運行的關鍵，所以如何保證高純特種氣體輸送系統安裝施工質量，確保氣體輸送控制滿足工藝要求就顯得異常的重要。

發明內容

本發明的目的在于提供一種半導體制程氣體輸送管道安裝施工方法，解決現有技術中存在的管道與設備連接、管道金屬腐蝕、尾氣處理、管道安裝等過程中的技術難題，保證氣體輸送系統的安全性和穩定性。

為了實現上述目的，本發明采用的技術方案如下：

半導體制程氣體輸送管道安裝施工方法，包括以下步驟：

（1）在施工現場預設潔凈區域，并搭建潔凈空間；

（2）對施工用器材進行復驗，并對所有器材進行防污染密封封存；

（3）在潔凈空間內對管道進行分單元潔凈式密閉加工，且加工完成立即密封管口；

（4）安裝輸送管道，并在安裝過程中和作業間隙期間持續通入保護氣體；

（5）按照等離子體加水洗處理系統的結構安裝尾氣管道；

（6）安裝氣體裝置，并采用徑向面密封連接方式進行管道、氣體裝置的連接；

（7）分別進行靜電接地和室外防雷電感應接地系統安裝；

（8）分別進行壓力檢測、氦質譜檢漏、水分檢測、潔凈度檢測和氧份檢測，直到全部合格；

（9）進行尾氣處理測試，直到合格。

進一步地，所述步驟（1）中，用防靜電厚塑料膜圍護形成潔凈區域；采用FFU或高效過濾器及低壓風機用風管連通，設置調節閥，完成上送風、下側四周排風的空調系統，并保持潔凈區域室內始終處于正壓狀態。

進一步地，所述步驟（2）中，首先采用雙層薄膜袋包裝密封所有施工用器材，并使用塑料密封套封閉管材端面，然后在潔凈區域采用便攜式金屬光譜分析儀檢驗施工用器材的強度、密閉性、不純物及化學晶間腐蝕，合格者保存于潔凈區域待用。

進一步地，所述步驟（3）中，首先進行管口加工:拆開管材的雙層薄膜袋和塑料密封套，立即沿介質流向向管材內持續通入氮氣，同時對管材進行切口，再使用倒角器去除管口毛刺，然后立即用無水酒精清洗管口，再用高純氮氣沖吹管芯直到無可見物，最后用密封帽密封管材兩端；

然后進行彎管加工：采用彎管器彎制小管徑彎管；制作雙層彎管時，先在內外管間套不銹鋼螺紋圈支撐，再使用橡膠材料制作彎管裝置加工輪，最后使用彎管裝置進行彎管。

再進一步地，所述步驟（4）中，進行管道焊接之前，按照通氣量逐漸減小的方式向管道內通入高純氬氣吹掃至少2分鐘，然后焊接管道，焊接過程中持續通入高純氬氣，焊接完成之后再按照通氣量逐漸增加的方式向管道內通入高純氬氣吹掃至少60分鐘，然后用密封帽密封管道端口。

優選地，所述步驟（4）中，對于預制的雙層管道，先在每個焊接接頭位置增加短套管，然后進行焊接組裝，同時在雙層管道支架套上定制不銹鋼螺紋圈支撐，并在管道安裝焊接過程中，持續通入高純氮氣進行吹掃。

再進一步地，所述步驟（5）中，將管道用KF快卸卡鉗法蘭輔以彈性橡膠密封圈連接，并通過管道接入尾氣處理裝置。該尾氣處理裝置具體地說包括酸霧洗滌塔和真空泵。

再進一步地，所述步驟（6）中，使用不銹鋼支撐架固定閥門和儀表，采用噴塑型鋼制作氣瓶閥門與箱盤于一體的支座，在支座與管道之間設置樹脂馬鞍型或門字型隔離墊，或者不銹鋼墊片，同時在安裝過程中用紅外線垂準儀調節閥門箱盤的垂直度偏差。

優選地，所述步驟（6）中，首先用過濾器輔以高純氮氣吹掃快速接頭，然后在O型密封圈上添加潤滑劑，采用徑向面密封方式輔以柔性鎳合金墊片進行儀器、管件的連接。

更進一步地，在進行所述步驟（7）之前，對安裝好的管路根據不同的氣體、危害性和流向進行標示。