[發明專利]表面輪廓的測量方法

在審

• 申請號: 201410659987.8
• 申請日: 2014-11-18
• 公開（公告）號: CN104344802A
• 公開（公告）日: 2015-02-11
• 發明（設計）人: 劉杰波
• 申請（專利權）人: 劉杰波
• 主分類號: G01B21/20
• 分類號: G01B21/20
• 代理公司: 深圳市世紀恒程知識產權代理事務所 44287
• 代理人: 胡海國;黃胡生

1.一種表面輪廓的測量方法，其特征在于，包括如下步驟：

步驟S10、提供測量裝置，所述測量裝置包括一個測量設備及至少一個運動裝置，所述測量設備安裝于所述運動裝置上；

步驟S20、提供標準件，所述標準件具有至少一個光滑平面；

步驟S30、所述運動裝置驅動所述測量設備按照預設的路徑對所述標準件的光滑平面進行測量，得到補正數據；

步驟S40、按上述步驟S30，至得到對應所有預設路徑的補正數據，生成數據組；

步驟S50、提供待測量工件，并選擇路徑對所述待測量工件進行測量，得到第一測量數據；

步驟60、在所述數據組中調取與所述選擇路徑相匹配的或覆蓋所述選擇路徑的預設路徑對應的補正數據，并將所述補正數據補正到所述第一測量數據中。

2.如權利要求1所述的表面輪廓的測量方法，其特征在于，所述測量設備在步驟S30的測量過程中沿所述測量設備的主測量軸方向保持靜止。

3.如權利要求1所述的表面輪廓的測量方法，其特征在于，所述步驟S30具體包括：

步驟S31、所述運動裝置驅動所述測量設備按照預設的路徑對所述標準件的光滑平面進行測量，得到第二測量數據；

步驟S32、將所述第二測量數據與預設的標準數據進行比較運算，得到對應所述預設路徑的補正數據。

4.如權利要求3所述的表面輪廓的測量方法，其特征在于，在步驟S32之前，還包括：

步驟S33、重復步驟S31，得到對應同一預設路徑的數組第二測量數據；

步驟S34、將數組所述第二測量數據中對應各同一測量點的數值進行平均，得到所述補正數據。

5.如權利要求4所述的表面輪廓的測量方法，其特征在于，在步驟S34之前，還包括：

步驟S35、判斷對應同一測量點的數值是否超出預設的誤差范圍；

步驟S36、是，則刪除超出預設的誤差范圍的數值；否，則執行步驟S34。

6.如權利要求1所述的表面輪廓的測量方法，其特征在于，所述步驟S40與步驟S50之間，還包括：

步驟S70、將所述數據組存儲于儲存設備的對應位置；所述儲存設備為移動儲存設備或固態存儲設備。

7.如權利要求6所述的表面輪廓的測量方法，其特征在于，所述步驟S60具體包括：

步驟S61、根據所述選擇路徑內的測量點或測量區域查找對應的預設路徑；

步驟S62、讀取對應所述預設路徑的補正數據；

步驟S63、將所述補正數據補正到所述第一測量數據中。

8.如權利要求1所述的表面輪廓的測量方法，其特征在于，所述所有預設路徑組成一平面或曲面。

9.如權利要求1所述的表面輪廓的測量方法，其特征在于，在預設所述預設路徑時，讓預設路徑等同或覆蓋將要測量的被測量工件的測量路徑。

10.如權利要求1所述的表面輪廓的測量方法，其特征在于，所述測量裝置為非接觸式位置傳感器。