[發明專利]振動穩健的轉速傳感器

有效

• 申請號: 201410642263.2
• 申請日: 2014-11-11
• 公開（公告）號: CN104634338B
• 公開（公告）日: 2020-03-27
• 發明（設計）人: R·努爾
• 申請（專利權）人: 羅伯特·博世有限公司
• 主分類號: G01C19/5733
• 分類號: G01C19/5733
• 代理公司: 永新專利商標代理有限公司 72002
• 代理人: 郭毅

1.一種轉速傳感器(1)，其具有一個襯底和多個振動質量(10、20、30、40、50、60、70、80)，所述襯底具有主延伸平面(100)，其中，對于所述多個振動質量(10、20、30、40、50、60、70、80)中的每一個振動質量：

所述振動質量能夠被驅動進行驅動振動，其中，所述驅動振動沿著與所述主延伸平面(100)平行地設置的驅動方向(11)實現；

所述振動質量是能夠沿著兩個不同的偏轉方向(12、12')偏轉的，其中，所述兩個不同的偏轉方向(12、12')垂直于所述驅動方向(11)地設置，其中，所述多個振動質量(10、20、30、40、50、60、70、80)包括至少四個振動質量(10、20、30、40)，其中，所述至少四個振動質量(10、20、30、40)沿與所述襯底的主延伸平面(100)平行地設置的驅動層延伸，其中，分配給所述至少四個振動質量(10、20、30、40)的驅動方向沿所述驅動層延伸，其中，所述多個振動質量(10、20、30、40、50、60、70、80)包括至少四個另外的振動質量(50、60、70、80)，其中，所述至少四個另外的振動質量(50、60、70、80)沿與所述襯底的主延伸平面(100)平行地設置的另一驅動層延伸，其中，分配給所述至少四個另外的振動質量(50、60、70、80)的驅動方向沿所述另一驅動層延伸，其中，所述驅動層和所述另一驅動層沿與所述襯底的主延伸平面(100)垂直的法線方向相疊地并且相互間隔開地設置；

其中，所述轉速傳感器(1)配置成用于根據所述多個振動質量(10、20、30、40、50、60、70、80)的多個所探測的偏轉產生多個探測信號(112、112'、…、182、182')，其中，所述多個振動質量的每個偏轉方向(12、12')分配有所述多個探測信號(112、112'、…、182、182')中的一個探測信號，其特征在于，所述轉速傳感器(1)配置成用于使所述轉速傳感器(1)關于所述轉速傳感器(1)的至少一個旋轉軸線(101'、102'、103')中的每一個的直線加速度、旋轉加速度和離心加速度通過所述多個探測信號(112、112'、…、182、182')中的分別兩個對應的探測信號的補償來均衡。

2.根據權利要求1所述的轉速傳感器(1)，其特征在于，所述轉速傳感器(1)配置成用于使所述轉速傳感器(1)關于所述轉速傳感器(1)的三個不同旋轉軸線(101'、102'、103')的直線加速度、旋轉加速度和離心加速度根據所述多個探測信號(112、112'、…、182、182')來均衡。

3.根據以上權利要求中任一項所述的轉速傳感器(1)，其特征在于，所述轉速傳感器(1)配置成用于使所述直線加速度、所述旋轉加速度和所述離心加速度通過所述多個探測信號(112、112'、…、182、182')的求和和/或求差來均衡。

4.根據權利要求2所述的轉速傳感器(1)，其特征在于，所述轉速傳感器(1)具有分析處理裝置(90)，其中，所述多個振動質量(10、20、30、40、50、60、70、80)能夠被驅動進行所述驅動振動并且設置成使得通過所述分析處理裝置(90)借助于對應的探測信號(112、112'、…、182、182')的補償能夠均衡關于所述三個旋轉軸線(101'、102'、103')中的每一個的所述直線加速度、所述旋轉加速度和所述離心加速度。

5.根據權利要求1或2所述的轉速傳感器(1)，其特征在于，所述多個振動質量(10、20、30、40、50、60、70、80)彈簧彈性地相互連接并且與所述襯底連接，使得所述多個振動質量(10、20、30、40、50、60、70、80)能夠被驅動進行所述驅動振動，使得所述直線加速度、所述旋轉加速度和所述離心加速度是能夠關于三個旋轉軸線(101'、102'、103')均衡的。

6.根據以上權利要求1或2所述的轉速傳感器(1)，其特征在于，所述至少四個振動質量(10、20、30、40)是恰恰四個振動質量。