[發明專利]一種基于DSP的晶圓偏心在線檢測裝置及方法

在審

• 申請號: 201410637193.1
• 申請日: 2014-11-12
• 公開（公告）號: CN105655266A
• 公開（公告）日: 2016-06-08
• 發明（設計）人: 鄒風山;李崇;張峰;宋吉來;陳守良;韓志平
• 申請（專利權）人: 沈陽新松機器人自動化股份有限公司
• 主分類號: H01L21/66
• 分類號: H01L21/66
• 代理公司: 沈陽科苑專利商標代理有限公司 21002
• 代理人: 許宗富

1.一種基于DSP的晶圓偏心在線檢測裝置，用于檢測晶圓偏心，其特征在 于，包括：機器人控制器、真空機械手、第一傳感器、第二傳感器和工位、晶 圓放置區和晶圓獲取區；

所述機器人控制器與所述真空機械手相連；所述第一傳感器、第二傳感器 與所述機器人控制器相連，且所述第一傳感器、第二傳感器前后布置在傳輸路 徑上，所述傳輸路徑為所述真空機械手將晶圓傳送至工位的路徑；所述晶圓放 置區、晶圓獲取區提供真空機械手晶圓的放置處及晶圓的獲取區域。

2.如權利要求1所述的晶圓偏心在線檢測裝置，其特征在于，所述第一傳 感器、第二傳感器采用驅動器IO采集。

3.如權利要求1所述的晶圓偏心在線檢測裝置，其特征在于，還包括高速 光耦，所述第一傳感器、第二傳感器經所述高速光耦與所述機器人控制器相連。

4.一種利用權利要求1-3中任意一項晶圓偏心在線檢測裝置的方法，其特 征在于，包括，

S1、所述真空機械手從晶圓獲取區獲取晶圓；

S2、所述真空機械手向晶圓放置區方向傳送晶圓往復運動N次；

S3、所述晶圓每次往返運動中四次觸發所述第一傳感器和第二傳感器，獲 得采樣點；

S4、記錄所述采樣點的位置信息并鎖存；

S5、根據三點確定圓，獲得一組圓心和半徑數組；

S6、標準圓選取，并通過所述圓心與標準圓心比較，最終求得偏差值。

S7、根據已知數據獲取每一組數據的偏心方差值，在標定范圍內，進行偏 差糾正操作，糾正后的晶圓經所述真空機械手將晶圓放置在晶圓放置區；

S8、所述晶圓放置區檢查到有晶圓被送入時，傳感器信號翻轉，此時真空 機械手重新運動到晶圓獲取區獲取新的晶圓。

5.如權利要求4所述的晶圓偏心在線檢測方法，其特征在于，所述三點確 定圓為，

x,=(y3-y1)(y22-y12+x22-x12)+(y2-y1)(y12-y32+x12-x32)2(x2-x1)(y3-y1)-2(x3-x1)(y2-y1)]]>

y′=(x3-x1)(x22-x12+y22-y12)+(x2-x1)(x12-x32+y12-y32)2(x2-x1)(y3-y1)-2(x3-x1)(y2-y1)]]>

r=(x1-x′)2+(y1-y′)2]]>

其中，圓心為(x，y)，半徑為r；三點(x1，y1)、(x2，y2)和(x3，y3) 已知。