[發(fā)明專利]具有背保護層的鈦箔太陽能電池及其制備方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201410619125.2
• 申請日: 2014-06-05
• 公開（公告）號: CN105226123B
• 公開（公告）日: 2017-04-19
• 發(fā)明（設計）人: 何緒林;梅軍;廖成;劉江;葉勤燕;劉煥明
• 申請（專利權）人: 中物院成都科學技術發(fā)展中心
• 主分類號: H01L31/049
• 分類號: H01L31/049;H01L31/0392;H01L31/18
• 代理公司: 四川力久律師事務所51221
• 代理人: 王蕓,劉雪蓮

1.具有背保護層的鈦箔太陽能電池，包括鈦箔基底和在鈦箔基底上依次形成的擴散阻擋層、第一電極層、吸收層、緩沖層、第二電極層、減反層和表面電極層，其特征在于：

所述鈦箔基底的太陽能接收側的相對側形成有背保護層，所述背保護層為單層，所述背保護層由氮化鈦制成，所述背保護層厚度為200 nm；所述第一電極層為鉬薄膜層；所述擴散阻擋層為三層結構，包括靠近基底層、中間層和靠近第一電極層；所述靠近基底層由鈦制成，所述中間層由氮化鈦制成，所述靠近第一電極層由鈦制成，所述擴散阻擋層的厚度為1200nm。

2.權利要求1所述的具有背保護層的鈦箔太陽能電池的制備方法，其特征在于，包括如下步驟：

（1）鈦箔基底進行表面除油處理及表面拋光處理，使所述鈦箔基底表面粗糙度達到1 nm ~ 2000 nm；

（2）在鈦箔基底的太陽能接收側的相對側制備背保護層，所述制備方法選自蒸鍍法、磁控濺射法、化學氣相沉積法、電化學沉積法或化學沉積法的任一種；

（3）在鈦箔基底上制備擴散阻擋層，所述制備方法選自化學鍍膜法、電化學鍍膜法、化學氣相沉積法、蒸鍍法或磁控濺射法的任一種；

（4）在擴散阻擋層上依次制備第一電極層、吸收層、緩沖層、第二電極層、減反層和表面電極層。