[發明專利]一種掃描頻域干涉儀

在審

• 申請號: 201410619078.1
• 申請日: 2014-11-07
• 公開（公告）號: CN104345168A
• 公開（公告）日: 2015-02-11
• 發明（設計）人: 谷渝秋;范偉;吳玉遲;朱斌;董克攻;稅敏;韓丹
• 申請（專利權）人: 中國工程物理研究院激光聚變研究中心
• 主分類號: G01P3/36
• 分類號: G01P3/36;G01N3/06
• 代理公司: 中國工程物理研究院專利中心 51210
• 代理人: 翟長明

1.一種掃描頻域干涉儀，其特征在于，所述的干涉儀包括：寬帶脈沖、脈沖展寬器、部分反射鏡、分束片、被測樣品、平面反射鏡、光譜儀和條紋相機；所述的干涉儀光束的傳輸過程是，一束寬帶脈沖（1）首先通過脈沖展寬器（2），然后依次垂直入射到部分反射鏡Ⅰ（3）和部分反射鏡Ⅱ（4）上，其中，部分反射鏡Ⅰ（3）的反射光沿原路返回，透射光則垂直入射到部分反射鏡Ⅱ（4）上，部分反射鏡Ⅱ（4）的反射光在兩塊部分反射鏡構成的光學振蕩腔內振蕩傳輸，透射光則在傳播通過分束片（6）時分為兩束脈沖即透射脈沖和反射脈沖，透射脈沖和反射脈沖分別垂直入射到平面反射鏡（7）上和被測樣品（5）表面，被垂直反射后，兩束脈沖第二次通過分束片（6）時實現同軸合束，然后依次進入光譜儀（8）和條紋相機（9）。

2.根據權利要求1所述的掃描頻域干涉儀，其特征在于，所述的寬帶脈沖為飛秒激光脈沖或超連續脈沖，脈沖帶寬大于10?nm。

3.根據權利要求1所述的掃描頻域干涉儀，其特征在于，所述的脈沖展寬器為光柵展寬器、色散玻璃或其它光學色散元件中的一種。

4.根據權利要求1所述的掃描頻域干涉儀，其特征在于，所述的部分反射鏡Ⅰ（3）、部分反射鏡Ⅱ（4）的反射率和透射率分別為90%，10%。