[發明專利]預濕用組合物

在審

• 申請號: 201410586962.X
• 申請日: 2014-10-28
• 公開（公告）號: CN104600151A
• 公開（公告）日: 2015-05-06
• 發明（設計）人: 谷津克也;大石誠士
• 申請（專利權）人: 東京應化工業株式會社
• 主分類號: H01L31/18
• 分類號: H01L31/18;H01L21/22;H01L31/04;C09D5/00
• 代理公司: 中科專利商標代理有限責任公司 11021
• 代理人: 蔣亭

1.一種預濕用組合物，其為太陽能電池的制造方法中使用的預濕用組合物，所述太陽能電池的制造方法包括：

第1涂布工序，在半導體制造用基板的一面旋涂預濕用組合物；

第2涂布工序，在旋涂了所述預濕用組合物的所述一面旋涂包含具有第1雜質元素的擴散劑和溶劑的擴散材料，形成所述擴散劑的涂膜；和

第1雜質層形成工序，對形成了所述涂膜的所述半導體制造用基板進行熱處理，形成使所述擴散劑所具有的雜質元素擴散后的第1雜質層，

所述預濕用組合物含有質子性的極性溶劑和水。

2.如權利要求1所述的預濕用組合物，其中，

所述質子性的極性溶劑為選自下述成分(a)～(c)中的至少一種：

(a)下述式(I)所示的化合物、

(b)下述式(II)所示的化合物、

(c)碳原子數1～4的烷基醇

R⁰-O-(C₂H₄-O)_n-H…(I)

R⁰-O-(C₃H₆-O)_n-H…(II)

式中，R⁰表示碳原子數1～4的直鏈狀或支鏈狀的烷基，n為1或2的整數。

3.如權利要求1或2所述的預濕用組合物，其中，

所述質子性的極性溶劑與所述水的質量比以質子性極性溶劑/水計為90/10～30/70。