[發明專利]一種多晶硅生產過程中的尾氣回收工藝

在審

• 申請號: 201410547077.0
• 申請日: 2014-10-15
• 公開（公告）號: CN105565323A
• 公開（公告）日: 2016-05-11
• 發明（設計）人: 張偉;銀波;張吉武;陳朝霞;黃彬
• 申請（專利權）人: 新特能源股份有限公司
• 主分類號: C01B33/107
• 分類號: C01B33/107;C01B3/50
• 代理公司: 北京天昊聯合知識產權代理有限公司 11112
• 代理人: 羅建民;鄧伯英

1.一種多晶硅生產過程中的尾氣回收工藝，其特征在于，包 括以下步驟：

將多晶硅生產過程中的尾氣在第一催化劑的催化作用下，發 生所述尾氣中的氯化氫與二氯二氫硅的反應，得到第一混合物； 將所述第一混合物冷卻到-5～55℃，分別得到第一液體混合物、第 一氣體混合物；

將所述第一氣體混合物在第二催化劑的催化作用下，發生所 述尾氣中的二氯二氫硅與四氯化硅的反應，得到第二混合物；將 所述第二混合物冷卻到-40～-10℃，分別得到第二液體混合物、第 二氣液混合物；

將所述第二氣液混合物進行氣液分離，分別得到第三氣體混 合物、第三液體混合物，其中，所述第三氣體混合物的主要組分 為氫氣。

2.根據權利要求1所述的多晶硅生產過程中的尾氣回收工 藝，其特征在于，所述在第一催化劑的催化作用下，發生所述尾 氣中的氯化氫與二氯二氫硅的反應的溫度為60～120℃，壓力為 0.1～2.0MpaG。

3.根據權利要求1所述的多晶硅生產過程中的尾氣回收工 藝，其特征在于，所述在第二催化劑的催化作用下，發生所述尾 氣中的二氯二氫硅與四氯化硅的反應的溫度為-5～50℃，壓力為 0.1～2.0MpaG。

4.根據權利要求1所述的多晶硅生產過程中的尾氣回收工 藝，其特征在于，所述第一催化劑為二甲基甲酰胺和/或大孔叔胺 陰離子交換樹脂。

5.根據權利要求1所述的多晶硅生產過程中的尾氣回收工 藝，其特征在于，所述第二催化劑為凝膠型季胺陰離子交換樹脂 和/或負載的季銨鹽。

6.根據權利要求1～5任意一項所述的多晶硅生產過程中的尾 氣回收工藝，其特征在于，所述將所述第二氣液混合物進行氣液 分離的具體步驟為：使用所述第一液體混合物和/或所述第二液體 混合物對所述第二氣液混合物進行噴淋的同時進行氣液分離，分 別得到第三氣體混合物、第三液體混合物。

7.根據權利要求1～5任意一項所述的多晶硅生產過程中的尾 氣回收工藝，其特征在于，將所述第三氣體混合物經過第一吸附 劑吸附除去氯化氫和/或氯硅烷，得到第四氣體混合物。

8.根據權利要求7所述的多晶硅生產過程中的尾氣回收工 藝，其特征在于，所述將所述第三氣體混合物經過第一吸附劑吸 附除去氯化氫和/或氯硅烷的步驟前還包括步驟：升壓，升到的壓 力為0.5～2.0MpaG。

9.根據權利要求7所述的多晶硅生產過程中的尾氣回收工 藝，其特征在于，所述第一吸附劑為活性炭、硅膠、分子篩、二 氧化硅、鋁硅酸鹽、高硅沸石中的一種或幾種。

10.根據權利要求7所述的多晶硅生產過程中的尾氣回收工 藝，其特征在于，將所述第四氣體混合物經過第二吸附劑吸附除 去含有硼和/或磷的雜質，得到第五氣體混合物。

11.根據權利要求10所述的多晶硅生產過程中的尾氣回收工 藝，其特征在于，所述第二吸附劑為三氧化二鋁、改性硅膠、二 氧化硅中的一種或幾種。