[發明專利]觸控面板及其制造方法

在審

• 申請號: 201410525107.8
• 申請日: 2014-10-08
• 公開（公告）號: CN104516586A
• 公開（公告）日: 2015-04-15
• 發明（設計）人: 布雷恩·貝克;埃德·笹本;蒙齊爾·謝里夫
• 申請（專利權）人: 宸鴻美國有限責任公司
• 主分類號: G06F3/041
• 分類號: G06F3/041;C23C14/35
• 代理公司: 北京律誠同業知識產權代理有限公司 11006
• 代理人: 梁揮;常大軍

技術領域

本發明涉及觸控技術領域，特別是關于一種觸控面板及其制造方法。

背景技術

觸控面板是目前受歡迎的輸入裝置。當使用者觸摸觸控面板對應于其下方顯示裝置所顯示的文字或圖像的相對位置時，觸控面板感知觸覺信號，并將該觸覺信號發送到一個控制器，用于進一步的信號處理。該控制器對該觸覺信號進行處理，并輸出對應于接觸位置的定位信號。觸控面板的類型有很多種，例如，電阻型、電容型、紅外線型，表面聲波型等等。舉例來說，電容型觸控面板檢測觸控面板的電容變化。當使用者接觸觸控面板時，相應的位置上的電容將會改變?？刂破鳈z測并計算電容的變化，并輸出相應的信號。

通常，觸控面板包括單層或多層，例如包括感應層及基板。有時，觸控面板還可以包括用來防刮、防眩光和/或防反射的保護基板。感應層一般是由透明導電材料制成，其上設有多個圖案。感應層能夠感應觸摸信號。該觸控信號然后被分布于感應層周圍的電極傳送出去，因此，需要一個特殊的遮蔽層來將電極遮住，以此來提升觸控面板的視覺效果。有些觸控面板使用黑矩陣(black?mask)來遮蔽電極。然而，黑矩陣與感應層之間往往需要一層絕緣且能夠支撐感應層的介電層，用以避免在后續高溫制造過程中，感應層的電導率偏移。然而，介電層的設置將使觸控面板結構復雜，并且增加觸控面板的厚度。

發明內容

為了解決上述問題，克服現有技術的不足，本發明的目的在于提供一種結構簡單、厚度較小的觸控面板及其制造方法。

本發明提供一種觸控面板，包括第一基板、遮蔽層及第一高密度導電層。遮蔽層形成在第一基板的邊緣區域。第一高密度導電層覆蓋第一基板及遮蔽層。

在其中一個實施例中，觸控面板還包括多個第一電極、第二基板、第二導電層及多個第二電極。多個第一電極設置在高密度導電層與第一基板相對的一側。第二導電層設置在第二基板上。并且，多個第二電極設置在第二導電層與第二基板相對的一側。

在其中一個實施例中，觸控面板還包括設置在第一高密度導電層和第二導電層之間的透明粘合層。

在其中一個實施例中，遮蔽層、多個第一電極及多個第二電極分布在觸控面板的該邊緣區域。

在其中一個實施例中，第一高密度導電層的材料選自氧化銦錫、氧化銦鋅及氧化鋁鋅中的一種。

在其中一個實施例中，第一高密度導電層通過HiPIMS輔助直流濺射工藝形成。

在其中一個實施例中，HiPIMS輔助直流濺射工藝的濺射電壓為450V～1000V，濺射功率為5kW～10kW，功率脈沖間隔為350μs～1500μs，功率脈沖時間為10μs～200μs，氣流流量(standard?cubic?centimeter?per?minute,sccm)為500sccms～1500sccms，及壓力為0.002Torr～0.010Torr。

本發明另提供一種觸控面板的制造方法，包括：在第一基板的邊緣區域形成遮蔽層；形成覆蓋遮蔽層和第一基板的第一高密度導電層；及在第一高密度導電層與第一基板相對的一側形成多個第一電極。

在其中一個實施例中，遮蔽層通過絲網印刷或光刻技術形成。

在其中一個實施例中，觸控面板的制造方法還包括：在第二基板上形成第二導電層；在第二導電層與第二基板相對的一側形成多個第二電極；及在第一高密度導電層和第二導電層之間的形成透明粘合層。

在其中一個實施例中，透明粘合層的材料為OCA膠或LOCA膠。

在其中一個實施例中，第二導電層的材料選自氧化銦錫、氧化銦鋅及氧化鋁鋅中的一種。

在其中一個實施例中，第一高密度導電層的材料選自氧化銦錫、氧化銦鋅及氧化鋁鋅中的一種。

在其中一個實施例中，第一高密度導電層通過使用具有HiPIMS電源單元的直流磁控濺射機形成。

在其中一個實施例中，第一高密度導電層通過HiPIMS輔助直流濺射工藝形成。

在其中一個實施例中，HiPIMS輔助直流濺射工藝的濺射電壓為450V～1000V，濺射功率為5kW～10kW。

在其中一個實施例中，HiPIMS輔助直流濺射工藝的功率脈沖間隔為350μs～1500μs，功率脈沖時間為10μs～200μs。

在其中一個實施例中，HiPIMS輔助直流濺射工藝的氣流流量為500sccms～1500sccms，壓力為0.002Torr～0.010Torr。

在其中一個實施例中，觸控面板的制造方法還包括：將第一高密度導電層圖形化。