[發(fā)明專利]可植入多通道柔性微管電極及其制備方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201410514096.3
• 申請日: 2014-09-29
• 公開（公告）號: CN104340956B
• 公開（公告）日: 2017-03-15
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 劉景全;田鴻昌;康曉洋;何慶;楊斌;陳翔;楊春生
• 申請（專利權(quán)）人: 上海交通大學(xué)
• 主分類號: B81C1/00
• 分類號: B81C1/00;A61N1/05
• 代理公司: 上海漢聲知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司31236
• 代理人: 徐紅銀,郭國中

1.一種可植入多通道柔性微管電極的制備方法，其特征在于，所述方法步驟包括：

第一步、制造柔性薄膜電極；

1)在基底上沉積底層聚合物絕緣層；

2)旋涂光刻膠并光刻圖形化，形成多路電極導(dǎo)線結(jié)構(gòu)；

3)濺射電極金屬層；

4)清洗殘留在電極表面的光刻膠，形成金屬導(dǎo)線結(jié)構(gòu)；

5)沉積頂層聚合物絕緣層；

6)旋涂光刻膠并光刻圖形化，暴露出電極點(diǎn)、連接焊盤和電極邊界的結(jié)構(gòu)；

7)通過反應(yīng)離子刻蝕去除掉電極點(diǎn)、連接焊盤和電極邊界處的聚合物絕緣層；

8)清洗殘留在電極表面的光刻膠，釋放得到柔性薄膜電極；

第二步、截取聚合物毛細(xì)管，經(jīng)過清洗和烘干，在聚合物毛細(xì)管外壁表面均勻涂抹生物相容性粘合膠，將制造完成的柔性薄膜電極沿聚合物毛細(xì)管長度方向一定角度緊緊纏繞固定在聚合物毛細(xì)管外壁表面，待粘合膠固化得到可植入多通道柔性微管電極。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種可植入多通道柔性微管電極的制備方法，其特征在于，步驟1)中：

所述的基底是指玻璃片、硅片、石英片、藍(lán)寶石片或表面濺射有金屬或金屬氧化物的玻璃片、硅片、石英片、藍(lán)寶石片；

所述的底層聚合物絕緣層是指聚對二甲苯；

所述的沉積是指化學(xué)氣相沉積；

所述的底層聚合物絕緣層厚度是1微米至20微米。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種可植入多通道柔性微管電極的制備方法，其特征在于，步驟2)中；

所述的旋涂光刻膠并光刻圖形化是指標(biāo)準(zhǔn)微電子制造工藝中使用甩膠臺(tái)在基底上旋涂AZ4903，使用烘箱烘干光刻膠，使用深紫外光刻機(jī)透過掩模板對涂有光刻膠的基底曝光，使用顯影液將曝光后的帶有光刻膠的基底顯影去除掉被曝光的光刻膠，將基底烘干備用；

所述的多路電極導(dǎo)線結(jié)構(gòu)是指大于或等于一個(gè)通道以上的相互電氣隔離的通路結(jié)構(gòu)，通道寬度為大于或等于5微米，通道長度為大于或等于1厘米。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種可植入多通道柔性微管電極的制備方法，其特征在于，步驟3)中，所述的濺射電極金屬層是指濺射厚度為50納米至500納米的金、鉑、銥、鈦/鎢/金、鈦/鎢/鉑或鈦/鎢/銥在基底上作為導(dǎo)電層。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種可植入多通道柔性微管電極的制備方法，其特征在于，步驟4)中，所述的清洗殘留在電極表面的光刻膠是指將基底在丙酮或異丙醇或乙醇中超聲清洗，或使用丙酮或異丙醇或乙醇輕輕擦拭清洗。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種可植入多通道柔性微管電極的制備方法，其特征在于，步驟5)中，所述的沉積頂層聚合物絕緣層是指化學(xué)氣相沉積1微米至20微米厚度的聚對二甲苯。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種可植入多通道柔性微管電極的制備方法，其特征在于，步驟7)中，所述的反應(yīng)離子刻蝕是指使用氧氣等離子體反應(yīng)刻蝕去除無光刻膠覆蓋的聚對二甲苯薄膜。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種可植入多通道柔性微管電極的制備方法，其特征在于，步驟8)中，所述的釋放是指將基底在丙酮或異丙醇或乙醇中浸泡，使薄膜電極從基底上脫落下來。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種可植入多通道柔性微管電極的制備方法，其特征在于，第二步中：

所述的聚合物毛細(xì)管是指聚酰亞胺毛細(xì)管、聚四氟乙烯毛細(xì)管、聚對苯二甲酸乙二酯毛細(xì)管和聚乙烯毛細(xì)管中一種；

所述的生物相容性粘合膠是指硅膠、生物組織膠和樹脂；

所述的固化是指粘合膠成為固體并與毛細(xì)管和薄膜電極粘合；

所述的一定角度是指10度至80度。

10.一種根據(jù)權(quán)利要求1所述方法制備的可植入多通道柔性微管電極，其特征在于，所述微管電極包括：聚合物毛細(xì)管、聚合物薄膜電極和生物相容性粘合膠，聚合物薄膜電極通過生物相容性粘合膠以纏繞的方式固定在聚合物毛細(xì)管的外表面；聚合物毛細(xì)管能夠?yàn)榱黧w給藥提供通道；多通道聚合物薄膜電極，能夠提供多通道的電生理信號采集和電刺激；所述微管電極整體為柔性聚合物材質(zhì)，能夠承受在植入過程中和植入生物組織后多次彎折、擠壓和拉伸。