[發(fā)明專利]一種基于偏振補(bǔ)償器的1064nm與532nm波長(zhǎng)自由切換輸出激光器

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201410512945.1
• 申請(qǐng)日: 2014-09-29
• 公開（公告）號(hào): CN104218442A
• 公開（公告）日: 2014-12-17
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 何鐵鋒;陳義紅;陳聰;吳熱平
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 廣州安特激光技術(shù)有限公司
• 主分類號(hào): H01S3/109
• 分類號(hào): H01S3/109;H01S3/094
• 代理公司: 廣州市越秀區(qū)海心聯(lián)合專利代理事務(wù)所(普通合伙) 44295
• 代理人: 黃為

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及激光器技術(shù)領(lǐng)域，更具體地說(shuō)，特別涉及一種基于偏振補(bǔ)償器的1064nm與532nm波長(zhǎng)自由切換輸出激光器。

背景技術(shù)

激光加工技術(shù)作為先進(jìn)制造技術(shù)之一，在傳統(tǒng)產(chǎn)業(yè)改造、加工技術(shù)革新、國(guó)防信息化等方面發(fā)揮著重要作用，激光被譽(yù)為“萬(wàn)能加工工具”，未來(lái)制造系統(tǒng)的共同加工手段。例如近年來(lái)，廣泛應(yīng)用于薄鋼板、不銹鋼、鋁合金板、硬質(zhì)合金等金屬材料的切割、打標(biāo)、沖孔的1064nm紅外激光加工系統(tǒng)；以及最近幾年逐漸興起用于陶瓷片、玻璃、PCB板、太陽(yáng)能電池片等材料的532nm綠光激光加工系統(tǒng)。

但是目前大部分激光器要不是單一波長(zhǎng)輸出，例如，專利“一種532nm綠光激光器(CN201320703515.9)”等，要么是雙波長(zhǎng)同時(shí)輸出，如專利“紅綠雙波長(zhǎng)激光器”(CN02117364.8)等，不能自由切換選擇某一波長(zhǎng)輸出或者選擇雙波長(zhǎng)同時(shí)輸出，即使目前有選擇波長(zhǎng)輸出的激光器也是幾種波長(zhǎng)分幾路分別同時(shí)輸出，相當(dāng)于幾臺(tái)激光器同時(shí)使用，如專利“一種風(fēng)速儀用三端輸出雙532nm與808nm波長(zhǎng)光纖激光”(CN201320659650.8)等，無(wú)法實(shí)現(xiàn)一棒多波長(zhǎng)輸出技術(shù)，使得激光器應(yīng)用起來(lái)比較繁瑣，不利于工業(yè)化現(xiàn)場(chǎng)的應(yīng)用。

因此，有必要研究一種1064nm及532nm自由切換的激光器，可根據(jù)需要改變輸出波長(zhǎng)，滿足加工的多樣性的需要。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的目的在于提供一種可根據(jù)需要改變輸出波長(zhǎng)以滿足加工多樣性的基于偏振補(bǔ)償器的1064nm與532nm波長(zhǎng)自由切換輸出激光器。

為了達(dá)到上述目的，本發(fā)明采用的技術(shù)方案如下：

一種基于偏振補(bǔ)償器的1064nm與532nm波長(zhǎng)自由切換輸出激光器，包括1064nm波長(zhǎng)諧振腔、532nm波長(zhǎng)諧振腔、用于產(chǎn)生激光的泵浦模塊，用于將泵浦模塊產(chǎn)生的激光于1064nm波長(zhǎng)諧振腔和532nm波長(zhǎng)諧振腔之間切換的偏振補(bǔ)償器型波長(zhǎng)自由切換系統(tǒng)，以及設(shè)置于1064nm波長(zhǎng)諧振腔和532nm波長(zhǎng)諧振腔出口端的輸出單元。

優(yōu)選地，還包括依次設(shè)置的全反鏡、諧波鏡和第一輸出鏡，所述全反鏡、諧波鏡和第一輸出鏡處于同一光軸上，所述532nm波長(zhǎng)諧振腔為由全反鏡、諧波鏡和第一輸出鏡構(gòu)成的諧振腔，所述偏振補(bǔ)償器型波長(zhǎng)自由切換系統(tǒng)設(shè)于全反鏡和諧波鏡之間，所述泵浦模塊設(shè)于全反鏡與偏振補(bǔ)償器型波長(zhǎng)自由切換系統(tǒng)之間。

優(yōu)選地，還包括設(shè)于全反鏡輸出側(cè)的第二輸出鏡，所述全反鏡的光軸與第二輸出鏡的光軸相互垂直，所述1064nm波長(zhǎng)諧振腔為由全反鏡和第二輸出鏡構(gòu)成的諧振腔。

優(yōu)選地，所述偏振補(bǔ)償器型波長(zhǎng)自由切換系統(tǒng)包括依次設(shè)置的起偏器、補(bǔ)償器和偏振分光棱鏡，所述起偏器和補(bǔ)償器構(gòu)成的光路的光軸與全反鏡的光路共線，所述起偏器用于產(chǎn)生一線S偏振光，所述補(bǔ)償器用于調(diào)制光的偏振以產(chǎn)生S偏振光、S+P偏振光或P偏振光；且當(dāng)補(bǔ)償器產(chǎn)生S偏振光時(shí)，該S偏振光經(jīng)偏振分光棱鏡輸出至1064nm波長(zhǎng)諧振腔中產(chǎn)生1064nm波長(zhǎng)激光，當(dāng)補(bǔ)償器產(chǎn)生P偏振光時(shí)，該P(yáng)偏振光經(jīng)偏振分光棱鏡輸出至532nm波長(zhǎng)諧振腔中產(chǎn)生532nm波長(zhǎng)激光，當(dāng)補(bǔ)償器產(chǎn)生S+P偏振光時(shí)，該S+P偏振光經(jīng)偏振分光棱鏡輸出至1064nm波長(zhǎng)諧振腔和532nm波長(zhǎng)諧振腔中分別產(chǎn)生1064nm波長(zhǎng)激光和532nm波長(zhǎng)激光。

優(yōu)選地，所述泵浦模塊包括泵浦源和晶體，所述泵浦源和晶體形成側(cè)面抽運(yùn)模塊式結(jié)構(gòu)。

優(yōu)選地，還包括設(shè)于全反鏡與晶體之間的Q開關(guān)。

優(yōu)選地，還包括設(shè)于諧波鏡和第一輸出鏡之間的倍頻晶體。

優(yōu)選地，所述輸出單元為二向色鏡，所述第二輸出鏡與二向色鏡之間還依次設(shè)有第一反射鏡和第二反射鏡，所述二向色鏡用于輸出第一輸出鏡所輸出的532nm波長(zhǎng)激光或/和用于輸出第二反射鏡所反射的1064nm波長(zhǎng)激光。