[發明專利]一種基于偏振補償器的1064nm與532nm波長自由切換輸出激光器

在審

• 申請號: 201410512945.1
• 申請日: 2014-09-29
• 公開（公告）號: CN104218442A
• 公開（公告）日: 2014-12-17
• 發明（設計）人: 何鐵鋒;陳義紅;陳聰;吳熱平
• 申請（專利權）人: 廣州安特激光技術有限公司
• 主分類號: H01S3/109
• 分類號: H01S3/109;H01S3/094
• 代理公司: 廣州市越秀區海心聯合專利代理事務所(普通合伙) 44295
• 代理人: 黃為

1.一種基于偏振補償器的1064nm與532nm波長自由切換輸出激光器，其特征在于：包括1064nm波長諧振腔、532nm波長諧振腔、用于產生激光的泵浦模塊，用于將泵浦模塊產生的激光于1064nm波長諧振腔和532nm波長諧振腔之間切換的偏振補償器型波長自由切換系統，以及設置于1064nm波長諧振腔和532nm波長諧振腔出口端的輸出單元。

2.根據權利要求1所述的基于偏振補償器的1064nm與532nm波長自由切換輸出激光器，其特征在于：還包括依次設置的全反鏡(1)、諧波鏡(8)和第一輸出鏡(10)，所述全反鏡(1)、諧波鏡(8)和第一輸出鏡(10)處于同一光軸上，所述532nm波長諧振腔為由全反鏡(1)、諧波鏡(8)和第一輸出鏡(10)構成的諧振腔，所述偏振補償器型波長自由切換系統設于全反鏡(1)和諧波鏡(8)之間，所述泵浦模塊設于全反鏡(1)與偏振補償器型波長自由切換系統之間。

3.根據權利要求2所述的基于偏振補償器的1064nm與532nm波長自由切換輸出激光器，其特征在于：還包括設于全反鏡(1)輸出側的第二輸出鏡(12)，所述全反鏡(1)的光軸與第二輸出鏡(12)的光軸相互垂直，所述1064nm波長諧振腔為由全反鏡(1)和第二輸出鏡(12)構成的諧振腔。

4.根據權利要求3所述的基于偏振補償器的1064nm與532nm波長自由切換輸出激光器，其特征在于：所述偏振補償器型波長自由切換系統包括依次設置的起偏器(5)、補償器(6)和偏振分光棱鏡(7)，所述起偏器(5)和補償器(6)構成的光路的光軸與全反鏡(1)的光路共線，所述起偏器(5)用于產生一線S偏振光，所述補償器(6)用于調制光的偏振以產生S偏振光、S+P偏振光或P偏振光；且當補償器(6)產生S偏振光時，該S偏振光經偏振分光棱鏡(7)輸出至1064nm波長諧振腔中產生1064nm波長激光，當補償器(6)產生P偏振光時，該P偏振光經偏振分光棱鏡(7)輸出至532nm波長諧振腔中產生532nm波長激光，當補償器(6)產生S+P偏振光時，該S+P偏振光經偏振分光棱鏡(7)輸出至1064nm波長諧振腔和532nm波長諧振腔中分別產生1064nm波長激光和532nm波長激光。

5.根據權利要求4所述的基于偏振補償器的1064nm與532nm波長自由切換輸出激光器，其特征在于：所述泵浦模塊包括泵浦源(3)和晶體(4)，所述泵浦源(3)和晶體(4)形成側面抽運模塊式結構。

6.根據權利要求5所述的基于偏振補償器的1064nm與532nm波長自由切換輸出激光器，其特征在于：還包括設于全反鏡(1)與晶體(4)之間的Q開關(2)。

7.根據權利要求6所述的基于偏振補償器的1064nm與532nm波長自由切換輸出激光器，其特征在于：還包括設于諧波鏡(8)和第一輸出鏡(10)之間的倍頻晶體(9)。

8.根據權利要求7所述的基于偏振補償器的1064nm與532nm波長自由切換輸出激光器，其特征在于：所述輸出單元為二向色鏡(11)，所述第二輸出鏡(12)與二向色鏡(11)之間還依次設有第一反射鏡(13)和第二反射鏡(14)，所述二向色鏡(11)用于輸出第一輸出鏡(10)所輸出的532nm波長激光或/和用于輸出第二反射鏡(14)所反射的1064nm波長激光。

9.根據權利要求8所述的基于偏振補償器的1064nm與532nm波長自由切換輸出激光器，其特征在于：所述全反射(1)為平面鏡，其右面鍍有1064nm高反膜；所述晶體(4)的兩面均鍍1064nm增透膜；所述起偏器5的兩面和補償器(6)的兩面均鍍有1064nm增透膜，所述偏振分光棱鏡(7)的三面均鍍有1064nm增透膜；所述諧波鏡(8)為平面鏡，其右面鍍有1064增透膜，其左面鍍有1064nm高透膜和532nm高反膜；所述倍頻晶體(9)的兩面均鍍有1064nm和532nm增透膜；所述第一輸出鏡(10)為平面鏡，其兩面均鍍有1064nm高反和532nm高透膜；所述第二輸出鏡(12)為平面鏡，其兩面均鍍有透過率為30％的1064nm透膜；所述二向色鏡(11)的左面鍍有1064nm高反膜、532nm增透，其右面鍍有1064nm高反膜和532nm高透膜；所述第一反射鏡(13)和第二反射鏡(14)的反射面均鍍1064nm高反膜。