[發明專利]一種基于氮化銅薄膜的柔性線路板制造方法有效
| 申請號： | 201410497288.8 | 申請日： | 2014-09-25 |
| 公開（公告）號： | CN104320913A | 公開（公告）日： | 2015-01-28 |
| 發明（設計）人： | 李興鰲;楊建波;李潼;吳振利;閆猛;趙建華;黃維 | 申請（專利權）人： | 南京郵電大學 |
| 主分類號： | H05K3/00 | 分類號： | H05K3/00 |
| 代理公司： | 江蘇愛信律師事務所 32241 | 代理人： | 唐小紅 |
| 地址： | 210023 江*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 基于 氮化 薄膜 柔性 線路板 制造 方法 | ||
【權利要求書】：
1.一種基于氮化銅薄膜的柔性線路板制造方法，其特征在于，制作方法如下：
第一步：選擇穩定性強、絕緣、表面光滑且耐酸腐蝕的阻燃材料作為基膜，按照需求將基膜裁成相應尺寸；
第二步：利用磁控濺射鍍膜方法，在裁好的基膜兩面分別鍍上氮化銅薄膜，根據需要控制鍍膜的時間來調節薄膜厚度，濺射的靶材為銅靶，工作氣體氮氣和氬氣；
第三步：調節好激光器的功率和激光半徑，根據設計好的電路圖，照射基膜上氮化銅薄膜的相應位置，刻蝕出所需要的線路；
第四步：將線路板放到稀鹽酸中將氮化銅溶解，取出后用清水把線路板清洗干凈晾干；在有線路的一層加上覆蓋膜作為保護層。
2.根據權利要求1的一種基于氮化銅薄膜的柔性線路板制造方法，其特征在于第一步中的基膜可以為PI薄膜。
3.根據權利要求2的一種基于氮化銅薄膜的柔性線路板制造方法，其特征在于第三步中激光照射基膜上氮化銅薄膜，溫度在360℃。
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