[發(fā)明專利]碳化鋯-碳化硅-氮化硼三元導電陶瓷蒸發(fā)舟的制備工藝

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 201410466729.8
• 申請日: 2014-09-15
• 公開（公告）號: CN104177086A
• 公開（公告）日: 2014-12-03
• 發(fā)明（設計）人: 牛金葉;田貴山;魏春城
• 申請（專利權）人: 山東理工大學
• 主分類號: C04B35/56
• 分類號: C04B35/56;C04B35/622
• 代理公司: 無
• 代理人: 無

1.一種碳化鋯-碳化硅-氮化硼三元導電陶瓷蒸發(fā)舟的制備工藝，其特征在于采用以下步驟：（1）將原料碳化鋯、碳化硅、氮化硼和高溫燒結助劑按重量百分比為：50～60%：5～15%：25～35%：2～5%混合，加入無水乙醇球磨1～3天得到混合均勻的料漿；（2）料漿在旋轉蒸發(fā)器上蒸發(fā)烘干，然后研磨得到混合粉料；（3）再將混合粉料裝入表面涂覆氮化硼的石墨磨具中，在氬氣氣氛下熱壓燒結，燒結溫度為1900～2000℃，保溫0.5～2h，壓力為20～40MPa，即得碳化鋯-碳化硅-氮化硼三元導電陶瓷；（4）碳化鋯-碳化硅-氮化硼三元導電陶瓷經(jīng)過機械切割、磨、銑即得碳化鋯-碳化硅-氮化硼三元導電陶瓷蒸發(fā)舟。

2.如權利要求1所述的碳化鋯-碳化硅-氮化硼三元導電陶瓷蒸發(fā)舟的制備工藝，其特征在于：步驟（1）中原料碳化鋯的粒徑為1～5μm，碳化硅的粒徑為0.5～2μm。

3.如權利要求1所述的碳化鋯-碳化硅-氮化硼三元導電陶瓷蒸發(fā)舟的制備工藝，其特征在于：步驟（1）中原料氮化硼為片狀，粒徑為0.5～5μm，厚度為50～200nm。

4.如權利要求1所述的碳化鋯-碳化硅-氮化硼三元導電陶瓷蒸發(fā)舟的制備工藝，其特征在于：步驟（1）中高溫燒結助劑由Al粉和Y₂O₃中的一種或兩種的混合。