[發明專利]一種激光擴束系統及激光加工設備

有效

• 申請號: 201410459300.6
• 申請日: 2014-09-09
• 公開（公告）號: CN104181694B
• 公開（公告）日: 2017-01-04
• 發明（設計）人: 施宏艷;周朝明;彭金明;高云峰
• 申請（專利權）人: 大族激光科技產業集團股份有限公司
• 主分類號: G02B27/09
• 分類號: G02B27/09;G02B7/02;B23K26/067
• 代理公司: 深圳市道臻知識產權代理有限公司44360
• 代理人: 陳琳

1.一種激光擴束系統，其特征在于，包括沿激光傳輸方向依次設置的前透鏡組和后透鏡組；所述前透鏡組包括第一透鏡，所述后透鏡組包括第二透鏡和第三透鏡，所述第一透鏡為雙凹型或平凹型負透鏡，所述第二透鏡為彎月型或平凹型負透鏡，所述第三透鏡為雙凸型或平凸型正透鏡；所述前透鏡組和后透鏡組共焦構成伽利略望遠鏡系統結構；所述前透鏡組和后透鏡組可相對移動，使所述激光擴束系統對不同波長的激光進行等倍率擴束。

2.如權利要求1所述的激光擴束系統，其特征在于，所述第一透鏡包括第一曲面和第二曲面，所述第二透鏡包括第三曲面和第四曲面，所述第三透鏡包括第五曲面和第六曲面；所述第一曲面的曲率半徑為-19mm，所述第二曲面的曲率半徑為13mm，所述第三曲面的曲率半徑為623mm，所述第四曲面的曲率半徑為56mm，所述第五曲面的曲率半徑為61mm，所述第六曲面的曲率半徑為-61mm，各曲率半徑的公差為5％。

3.權利要求2述的激光擴束系統，其特征在于，所述第一透鏡的中心厚度為1.5mm，所述第二透鏡的中心厚度為3mm，所述第三透鏡的中心厚度為8mm，各中心厚度的公差為5％；所述第四曲面和第五曲面之間的距離為1.3mm，各距離的公差為5％。

4.如權利要求3所述的激光擴束系統，其特征在于，所述第二曲面和第三曲面之間的距離為101mm，所述激光的波長為355nm。

5.如權利要求3所述的激光擴束系統，其特征在于，所述第二曲面和第三曲面之間的距離為105mm，所述激光的波長為532nm。

6.如權利要求3所述的激光擴束系統，其特征在于，所述第二曲面和第三曲面之間的距離為107mm，所述激光的波長為1064nm。

7.如權利要求1至6任一項所述的激光擴束系統，其特征在于，所述第一透鏡、第二透鏡和第三透鏡的材料為Nd/Vd＝1.4/67。

8.如權利要求7所述的激光擴束系統，其特征在于，所述激光擴束系統的擴束倍率為8。

9.一種激光加工設備，包括激光器、擴束系統及聚焦系統，其特征在于，所述擴束系統采用權利要求1至8任一項所述的激光擴束系統。

10.如權利要求9所述的激光加工設備，其特征在于，所述激光器的輸出波長為355nm、532nm或1064nm。