[發(fā)明專(zhuān)利]一種高效型多晶硅錠的鑄造方法

無(wú)效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201410448474.2
• 申請(qǐng)日: 2014-09-04
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN104195632A
• 公開(kāi)（公告）日: 2014-12-10
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 郭寬新;孫海知;潘歡歡;張斌;邢國(guó)強(qiáng)
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 奧特斯維能源（太倉(cāng)）有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): C30B28/06
• 分類(lèi)號(hào): C30B28/06;C30B29/06
• 代理公司: 南京蘇高專(zhuān)利商標(biāo)事務(wù)所(普通合伙) 32204
• 代理人: 劉燕嬌

1.一種高效型多晶硅錠的鑄造方法，其特征在于：包括以下步驟：

1）將鑄錠用石英坩堝正常的配置氮化硅進(jìn)行正常的噴涂，將噴涂好的坩堝備用；

2）制備形核劑：將鍺粉和氮化硅粉混合后加入純水和有機(jī)溶劑，攪拌均勻得形核劑懸濁液，將形核劑噴涂到1）所述的石英坩堝底部；

其中所述的鍺粉含量占總質(zhì)量的20%-80%，其余為氮化硅粉；

其中所述的有機(jī)溶劑為酒精或者乙二醇，所述純水與有機(jī)溶劑體積比為24:1-43:1；

3）保持石英坩堝溫度為20-100℃直至步驟1）中的形核劑完全干燥；

4）增大石英坩堝頂?shù)诇囟炔睿拐麪t硅料從上部硅料開(kāi)始熔化直至硅料全部熔化，熔化后的硅料進(jìn)行長(zhǎng)晶、冷卻，完成鑄錠。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種高效型多晶硅錠的鑄造方法，其特征在于：

?步驟2）所述的石英坩堝為石英陶瓷坩堝，在形核劑噴涂前，對(duì)所述石英陶瓷坩堝底部，側(cè)面內(nèi)壁進(jìn)行正常噴涂氮化硅涂層，待噴涂過(guò)的氮化硅的坩堝干燥后，再在地表面噴涂一層如1）述的行核劑懸濁液。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種高效型多晶硅錠的鑄造方法，其特征在于：步驟2）中所述的鍺粉純度大于99.99%，粒徑小于200um。

4.根據(jù)權(quán)利要求1或3所述的一種高效型多晶硅錠的鑄造方法，其特征在于：所述鍺粉重量占硅料重量的0.01%-0.5%。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種高效型多晶硅錠的鑄造方法，其特征在于：步驟2）中所述的形核劑噴涂厚度大于0.1mm。