[發(fā)明專利]微機(jī)械構(gòu)件和用于制造微機(jī)械構(gòu)件的方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201410424715.X
• 申請日: 2014-08-26
• 公開（公告）號: CN104418290B
• 公開（公告）日: 2018-06-05
• 發(fā)明（設(shè)計）人: S·安布魯斯特;H·格魯特杰克;F·沙茨;J·穆霍;F·N·恩吉蒙齊;J·巴德爾;K·德塞爾;R·施特勞布
• 申請（專利權(quán)）人: 羅伯特·博世有限公司
• 主分類號: B81B7/02
• 分類號: B81B7/02;B81C3/00
• 代理公司: 永新專利商標(biāo)代理有限公司 72002
• 代理人: 侯鳴慧

1.微機(jī)械構(gòu)件，其具有：

一框架(40)；

一板簧(20；21；22；23；24；25)，所述板簧與所述框架(40)連接，并且所述板簧具有前側(cè)面(F20；F21；F23；F24)和背側(cè)面(B20；B21；B22；B23；B25)，所述背側(cè)面與所述前側(cè)面(F20；F21；F23；F24)背離；

一反射鏡元件(10；10')，所述反射鏡元件布置在所述板簧(20；21；22；23；24)的前側(cè)面(F20；F21；F23；F24)上并且與所述板簧(20；21；22；23；24；25)的前側(cè)面(F20；F21；F23；F24)通過一間隔元件(12)以如下方式連接，即，所述反射鏡元件(10；10')能調(diào)節(jié)地懸掛在所述框架(40)上，其中，所述反射鏡元件(10；10')具有一進(jìn)行反射的表面(16)，所述進(jìn)行反射的表面至少借助于所述間隔元件(12)與所述板簧(20；21；22；23；24；25)的前側(cè)面(F20；F21；F23；F24)間隔開；和

至少一個壓電條(30、31；32、33；34、35；36、37)，所述至少一個壓電條與所述板簧(20；21；22；23；24；25)的背側(cè)面(B20；B21；B22；B23；B25)連接；

其中，通過施加電壓到所述至少一個壓電條(30、31；32、33；34、35；36、37)上，所述板簧(20；21；22；23；24；25)能夠為了調(diào)節(jié)所述反射鏡元件(10；10')而彈性地變形，其中，在板簧(21)中，連續(xù)地從所述板簧(21)的前側(cè)面(F21)直至所述板簧(21)的背側(cè)面(B21)構(gòu)造至少一個狹縫(50)，其中，所述板簧(20；21；22)在它的前側(cè)面(F20；F21；F22)的至少兩個彼此間隔開的區(qū)段上直接與所述框架(40)連接。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的微機(jī)械構(gòu)件，其中，所述反射鏡元件(10；10')能夠以如下方式調(diào)節(jié)，即，所述反射鏡元件能夠至少繞一轉(zhuǎn)動軸線(D)轉(zhuǎn)動。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的微機(jī)械構(gòu)件，其中，所述板簧(20；21；22；23；24、25)基本上構(gòu)造為直角平行六面體并且所述轉(zhuǎn)動軸線(D)平行于所述板簧(20；21；22；23；24；25)的前側(cè)面(F20；F21；F22；F23；F24)并且垂直于未變形的板簧(20；21；22；23；24；25)的一棱邊布置，其中，該棱邊是該直角平行六面體的最長棱邊。

4.根據(jù)權(quán)利要求2或3所述的微機(jī)械構(gòu)件，其中，所述板簧(25)基本上構(gòu)造為直角平行六面體并且所述轉(zhuǎn)動軸線(D)平行于所述板簧(25)的背側(cè)面(B25)并且平行于未變形的板簧(25)的一棱邊，其中，該棱邊是該直角平行六面體的最長棱邊。

5.根據(jù)權(quán)利要求1至3之一所述的微機(jī)械構(gòu)件，其中，在所述板簧(23；24)的前側(cè)面(F23；F24)和所述反射鏡元件(10')之間構(gòu)造有一扭簧(23')，所述扭簧與所述板簧(23；24)的前側(cè)面(F23；F24)、所述反射鏡元件(10')和所述框架(40)連接。

6.根據(jù)權(quán)利要求1至3之一所述的微機(jī)械構(gòu)件，其中，所述反射鏡元件(10；10')通過多個彼此間隔開的連接部位(60”)與所述板簧(20)的前側(cè)面(F20)連接。

7.根據(jù)權(quán)利要求1至3之一所述的微機(jī)械構(gòu)件，其中，所述反射鏡元件(10；10')通過至少三個彼此間隔開的連接部位(60”)與所述板簧(20)的前側(cè)面(F20)連接。