[發(fā)明專利]一種高致密鉻鎢合金靶材的制備方法在審
| 申請?zhí)枺?/td> | 201410404763.2 | 申請日： | 2014-08-15 |
| 公開（公告）號： | CN105364074A | 公開（公告）日： | 2016-03-02 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 張路長;張鳳戈;郝權(quán);姜海;唐培新;何向暉;趙雷;繆磊 | 申請（專利權(quán)）人： | 安泰科技股份有限公司 |
| 主分類號： | B22F3/15 | 分類號： | B22F3/15;C22C27/06;B22F1/00 |
| 代理公司： | 北京五洲洋和知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 11387 | 代理人： | 劉春成;溫泉 |
| 地址： | 100081 *** | 國省代碼： | 北京;11 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 致密 合金 制備 方法 | ||
1.一種鉻鎢合金靶材，其特征在于，包括以下原子百分比的成分：鉻 80～99％，鎢1～20％。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述鉻鎢合金靶材，其特征在于，包括以下原子百分 比的成分：鉻90％，鎢10％。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述鉻鎢合金靶材，其特征在于，所述合金靶材的相 對密度不低于99％，平均晶粒尺寸不大于50μm。
4.權(quán)利要求1～3任一所述鉻鎢合金靶材的制備方法，其特征在于，包 括以下步驟：
步驟一、將鎢粉進(jìn)行還原處理，得到還原后的鎢粉；
步驟二、將所述還原后的鎢粉和鉻粉制備得到預(yù)合金粉末；
步驟三、將所述預(yù)合金粉末原料進(jìn)行裝包套處理，得到裝滿的包套；
步驟四、將所述裝滿的包套進(jìn)行脫氣處理，得到脫氣后的包套；
步驟五、對所述脫氣后的包套進(jìn)行熱等靜壓處理，得到壓制后的錠坯， 再去除包套得到壓制后的坯料；
步驟六、將所述壓制后的坯料進(jìn)行機(jī)加工處理，得到所述鉻鎢合金靶材。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述制備方法，其特征在于，在所述步驟二中，所述 預(yù)合金粉末是所述還原后的鎢粉與鉻粉進(jìn)行磨粉處理得到的；優(yōu)選地，所述 磨粉處理采用高能球磨制粉處理。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述制備方法，其特征在于，所述高能球磨制粉處理， 是指于惰性氣體保護(hù)條件下在高能球磨機(jī)中混合4～24h。
7.根據(jù)權(quán)利要求4所述制備方法，其特征在于，所述預(yù)合金粉末的平均 粒徑不大于50μm。
8.根據(jù)權(quán)利要求4所述制備方法，其特征在于，在所述步驟一中，所述 還原處理是在850～950℃下通入氫氣。
9.根據(jù)權(quán)利要求4所述制備方法，其特征在于，在所述步驟四中，所述 脫氣處理的溫度為300～500℃，時(shí)間為5～30h；優(yōu)選地，所述脫氣處理時(shí)的 真空度為10-1Pa～10-4Pa。
10.根據(jù)權(quán)利要求4所述制備方法，其特征在于，在所述步驟五中，所 述熱等靜壓處理的保溫溫度為1250～1450℃，保溫時(shí)間為2～5h，壓力為 120～150MPa。
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