[發(fā)明專利]柔性顯示設(shè)備、柔性顯示母板及其制作方法

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 201410356689.1
• 申請日: 2014-07-24
• 公開（公告）號: CN104103648A
• 公開（公告）日: 2014-10-15
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 臧浩春;陳正忠;霍思濤
• 申請（專利權(quán)）人: 上海天馬微電子有限公司;天馬微電子股份有限公司
• 主分類號: H01L27/12
• 分類號: H01L27/12;H01L21/77;G02F1/1368;G02F1/1333
• 代理公司: 北京集佳知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11227
• 代理人: 王寶筠

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及液晶顯示技術(shù)領(lǐng)域，更具體地說，涉及一種柔性顯示設(shè)備、柔性顯示母板及其制作方法。

背景技術(shù)

現(xiàn)今的顯示器件中，柔性可撓式顯示器由于具有高輕巧性、耐沖擊性、可撓取性、可穿戴性與攜帶方便等特點，儼然已經(jīng)成為新一代的前瞻顯示技術(shù)。

然而，在柔性顯示器的制作工藝中，主要的技術(shù)瓶頸在于如何將TFT(Thin?Film?Transistor，薄膜晶體管)等顯示器件從玻璃基板轉(zhuǎn)移制作在柔性塑料基板上。為了解決這一技術(shù)瓶頸，現(xiàn)有技術(shù)提供了一種制作柔性顯示器的技術(shù)，其主要的工藝流程如圖1a～1c所示，首先利用暫時性有機黏著材料將柔性基板20與玻璃基板10黏合，或在玻璃基板10上直接進行柔性基板20的涂覆，再進行TFT等顯示器件30的制作工藝，將TFT等顯示器件30制作在柔性基板20上，最后再將柔性基板20從玻璃基板10上取下，以形成柔性顯示母板。

其中，柔性基板20通常采用塑料基板，并且，為了保證在后續(xù)的高溫工藝中柔性基板20的水汽隔絕效果，在制作TFT等顯示器件30之前，還需要在柔性基板20表面沉積一層緩沖層21。

但是，由于在制備緩沖層等膜層的過程中，柔性顯示母板的內(nèi)部會有向內(nèi)收縮應(yīng)力的累積，因此，容易導(dǎo)致柔性基板向內(nèi)收縮，發(fā)生翹曲現(xiàn)象，影響柔性顯示母板的制作以及柔性顯示設(shè)備的性能。

發(fā)明內(nèi)容

有鑒于此，本發(fā)明提供了一種柔性顯示設(shè)備、柔性顯示母板及其制作方法，以解決現(xiàn)有技術(shù)中由于柔性顯示母板向內(nèi)收縮應(yīng)力的累積，而導(dǎo)致柔性基板收縮、翹曲，影響柔性顯示母板的制作以及柔性顯示設(shè)備性能的問題。

為實現(xiàn)上述目的，本發(fā)明提供如下技術(shù)方案：

一種柔性顯示母板，所述柔性顯示母板具有被分成若干組的多個柔性顯示單片，每組至少包含一個所述柔性顯示單片；所述各組柔性顯示單片之間具有第一凹槽。

一種柔性顯示設(shè)備，包括由上述的柔性顯示母板切割成的柔性顯示單片。

一種柔性顯示母板的制作方法，包括：

將柔性顯示母板上的多個柔性顯示單片分成若干組，每組至少包含一個所述柔性顯示單片；

在所述各組柔性顯示單片之間形成第一凹槽。

與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明所提供的技術(shù)方案具有以下優(yōu)點：

本發(fā)明所提供的柔性顯示設(shè)備、柔性顯示母板及其制作方法，柔性顯示母板具有被分成若干組的多個柔性顯示單片，每組至少包含一個所述柔性顯示單片，由于所述各組柔性顯示單片之間具有第一凹槽，因此，能夠通過所述第一凹槽來釋放柔性顯示母板內(nèi)部的向內(nèi)收縮的應(yīng)力，從而有效避免了由于應(yīng)力的累積而影響柔性顯示母板的制作以及導(dǎo)致柔性顯示設(shè)備失效的問題。

附圖說明

為了更清楚地說明本發(fā)明實施例或現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)方案，下面將對實施例或現(xiàn)有技術(shù)描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本發(fā)明的一些實施例，對于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來講，在不付出創(chuàng)造性勞動的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。

圖1a～1c為現(xiàn)有的柔性顯示母板的制作工藝流程圖；

圖2為本發(fā)明實施例一提供的位于每個柔性顯示單片之間的第一凹槽的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖3為本發(fā)明另一實施例提供的位于每兩個柔性顯示單片之間的第一凹槽結(jié)構(gòu)示意圖；

圖4為本發(fā)明另一實施例提供的另一種第一凹槽的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖5為本發(fā)明實施例一提供的由緩沖層刻蝕形成的第一凹槽的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖6為本發(fā)明實施例一提供的由緩沖層和柵極絕緣層刻蝕形成的第一凹槽的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖7為本發(fā)明實施例一提供的由緩沖層、柵極絕緣層和鈍化層刻蝕形成的第一凹槽的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖8為本發(fā)明實施例二提供的位于每個像素單元之間的第二凹槽的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖9為本發(fā)明實施例二提供的位于每兩個像素單元之間的第二凹槽的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖10為本發(fā)明實施例二提供的由緩沖層刻蝕形成的第二凹槽的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖11為本發(fā)明實施例二提供的由緩沖層和柵極絕緣層刻蝕形成的第二凹槽的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖12為本發(fā)明實施例二提供的由緩沖層、柵極絕緣層和鈍化層刻蝕形成的第二凹槽的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖13為本發(fā)明實施例三提供的柔性顯示母板的制作方法流程圖；

圖14為本發(fā)明實施例三提供的第一凹槽的制作方法流程圖。

具體實施方式