[發明專利]柔性顯示設備、柔性顯示母板及其制作方法

在審

• 申請號: 201410356689.1
• 申請日: 2014-07-24
• 公開（公告）號: CN104103648A
• 公開（公告）日: 2014-10-15
• 發明（設計）人: 臧浩春;陳正忠;霍思濤
• 申請（專利權）人: 上海天馬微電子有限公司;天馬微電子股份有限公司
• 主分類號: H01L27/12
• 分類號: H01L27/12;H01L21/77;G02F1/1368;G02F1/1333
• 代理公司: 北京集佳知識產權代理有限公司 11227
• 代理人: 王寶筠

1.一種柔性顯示母板，其特征在于，所述柔性顯示母板具有被分成若干組的多個柔性顯示單片，每組至少包含一個所述柔性顯示單片；

所述各組柔性顯示單片之間具有第一凹槽。

2.根據權利要求1所述的柔性顯示母板，其特征在于，所述柔性顯示母板包括：

柔性基板；

位于所述柔性基板表面的緩沖層；

位于所述緩沖層表面的顯示器件，所述顯示器件依次包括柵極線、柵極絕緣層、數據線和鈍化層；

其中，所述第一凹槽由所述緩沖層、柵極絕緣層、鈍化層中的至少一層刻蝕形成。

3.根據權利要求2所述的柔性顯示母板，其特征在于，所述緩沖層為氧化硅薄膜或氧化硅和氮化硅薄膜。

4.根據權利要求2所述的柔性顯示母板，其特征在于，所述柔性基板為塑料基板。

5.根據權利要求2所述的柔性顯示母板，其特征在于，所述第一凹槽由所述緩沖層刻蝕形成，所述第一凹槽的深度小于等于所述緩沖層的厚度。

6.根據權利要求5所述的柔性顯示母板，其特征在于，所述第一凹槽的深度與所述緩沖層的厚度的差值范圍為0.05μm～0.1μm。

7.根據權利要求1所述的柔性顯示母板，其特征在于，所述第一凹槽的寬度范圍為15μm～20μm。

8.根據權利要求2所述的柔性顯示母板，其特征在于，所述柵極線與所述數據線圍成多個像素單元，所述多個像素單元被分成若干組，每組至少包含一個所述像素單元，所述每組像素單元之間具有第二凹槽。

9.根據權利要求8所述的柔性顯示母板，其特征在于，所述第二凹槽由所述緩沖層、柵極絕緣層、鈍化層中的至少一層刻蝕形成。

10.根據權利要求9所述的柔性顯示母板，其特征在于，所述第二凹槽至少部分由所述柵極絕緣層刻蝕形成，并且所述第二凹槽不位于柵極線和數據線的重合處。

11.根據權利要求9所述的柔性顯示母板，其特征在于，所述第二凹槽由所述緩沖層刻蝕形成，所述第二凹槽的深度小于等于緩沖層的厚度。

12.根據權利要求11所述的柔性顯示母板，其特征在于，所述第二凹槽的深度與所述緩沖層的厚度的差值范圍為0.05μm～0.1μm。

13.一種柔性顯示設備，其特征在于，包括由權利要求1至12任一項所述的柔性顯示母板切割成的柔性顯示單片。

14.一種柔性顯示母板的制作方法，其特征在于，包括：

將柔性顯示母板上的多個柔性顯示單片分成若干組，每組至少包含一個所述柔性顯示單片；

在所述各組柔性顯示單片之間形成第一凹槽。

15.根據權利要求14所述的方法，其特征在于，所述在所述各組柔性顯示單片之間制作第一凹槽具體為：

提供柔性基板；

在所述柔性基板的表面形成緩沖層；

在所述緩沖層表面形成顯示器件，所述顯示器件包括依次形成的柵極線、柵極絕緣層、數據線和鈍化層；

刻蝕所述各組柔性顯示單片之間的緩沖層、柵極絕緣層、鈍化層中的至少一層形成所述第一凹槽。

16.根據權利要求15所述的方法，其特征在于，還包括：

將所述柵極線與數據線圍成的多個像素單元分成若干組，每組至少包含一個所述像素單元；

在所述每組像素單元之間形成第二凹槽。

17.根據權利要求16所述的方法，其特征在于，所述在所述每組像素單元之間形成第二凹槽具體為：

刻蝕所述各組像素單元之間的緩沖層、柵極絕緣層、鈍化層中的至少一層形成所述第二凹槽。