[發明專利]一種低成本三維結構石墨烯-鋁超級電容器復合電極材料的制備方法

在審

• 申請號: 201410338863.X
• 申請日: 2014-07-16
• 公開（公告）號: CN104064378A
• 公開（公告）日: 2014-09-24
• 發明（設計）人: 亓鈞雷;林景煌;張夫;王旭;費維棟;馮吉才
• 申請（專利權）人: 哈爾濱工業大學
• 主分類號: H01G11/86
• 分類號: H01G11/86;C23C16/513;C23C16/26
• 代理公司: 哈爾濱市松花江專利商標事務所 23109
• 代理人: 侯靜

1.一種低成本三維結構石墨烯-鋁超級電容器復合電極材料的制備方法，其特征在于一種低成本三維結構石墨烯-鋁超級電容器復合電極材料的制備方法是按照以下步驟進行的：

一、將基體材料置于等離子體增強化學氣相沉積真空裝置中，抽真空至壓強為5Pa以下，通入氬氣，調節氬氣氣體流量為10sccm～40sccm，調節等離子體增強化學氣相沉積真空裝置中壓強為100Pa～300Pa，并在壓強為100Pa～300Pa和氬氣氣氛下，在25min內將溫度升溫至為400℃～600℃；

二、通入甲烷氣體，調節甲烷的氣體流量為5sccm～40sccm，調節氬氣的氣體流量為60sccm～95sccm，調節等離子體增強化學氣相沉積真空裝置中壓強為200Pa～700Pa，然后在射頻功率為150W～250W、壓強為200Pa～700Pa和溫度為400℃～600℃條件下進行沉積，沉積時間為30min～90min，沉積結束后，關閉射頻電源和加熱電源，停止通入甲烷氣體，在氬氣氣氛下從溫度為400℃～600℃冷卻至室溫，即得到三維結構石墨烯-鋁超級電容器復合電極材料。

2.根據權利要求1所述的一種低成本三維結構石墨烯-鋁超級電容器復合電極材料的制備方法，其特征在于步驟一中所述的基體材料為三維結構鋁基體材料。

3.根據權利要求2所述的一種低成本三維結構石墨烯-鋁超級電容器復合電極材料的制備方法，其特征在于所述的三維結構鋁基體材料為泡沫鋁、多孔鋁或表面腐蝕鋁。

4.根據權利要求2所述的一種低成本三維結構石墨烯-鋁超級電容器復合電極材料的制備方法，其特征在于所述的三維結構鋁基體材料的厚度為10μm～2000μm。

5.根據權利要求1所述的一種低成本三維結構石墨烯-鋁超級電容器復合電極材料的制備方法，其特征在于步驟一中在25min內將溫度升溫至為550℃。

6.根據權利要求1所述的一種低成本三維結構石墨烯-鋁超級電容器復合電極材料的制備方法，其特征在于步驟二中調節甲烷的氣體流量為20sccm，調節氬氣的氣體流量為80sccm。