[發明專利]振動片、振子、振蕩器、電子設備以及移動體

在審

• 申請號: 201410337949.0
• 申請日: 2014-07-16
• 公開（公告）號: CN104300933A
• 公開（公告）日: 2015-01-21
• 發明（設計）人: 山田明法
• 申請（專利權）人: 精工愛普生株式會社
• 主分類號: H03H9/19
• 分類號: H03H9/19;H03H9/02
• 代理公司: 北京三友知識產權代理有限公司 11127
• 代理人: 李輝;黃綸偉

1.一種振動片，其特征在于，

所述振動片包含固定端和自由端沿著第1方向排列的振動臂，

所述振動臂包含：

施重部，其配置于所述自由端側；以及

臂部，其配置于所述固定端側，

在所述振動臂的彼此處于正反關系的第1主面和第2主面中的至少一個主面上，沿著所述第1方向設置有槽部，

在設置有所述槽部的所述主面上，

在設所述臂部的沿著與所述第1方向交叉的第2方向的寬度為W1、設側面與所述槽部的外緣夾著的部分的沿著所述第2方向的寬度為W3、設2×W3/W1為η時，

滿足14.2％＜η＜100％，

其中，所述側面連接所述第1主面和所述第2主面，所述槽部沿著所述第2方向和所述側面并排。

2.根據權利要求1所述的振動片，其特征在于，

滿足20％≤η≤50％。

3.根據權利要求2所述的振動片，其特征在于，

滿足30％≤η≤40％。

4.根據權利要求1～3中的任意一項所述的振動片，其特征在于，

所述施重部的沿著所述第2方向的寬度比所述臂部大。

5.根據權利要求4所述的振動片，其特征在于，

在設所述施重部的沿著所述第2方向的寬度為W2時，滿足1.43≤W2/W1≤1.79。

6.根據權利要求1～3中的任意一項所述的振動片，其特征在于，

在設所述振動臂的沿著所述第1方向的長度為L、設所述施重部的沿著所述第1方向的長度為Lx時，滿足20％≤Lx/L≤60％。

7.根據權利要求1～3中的任意一項所述的振動片，其特征在于，

所述臂部的厚度為115μm以上150μm以下。

8.根據權利要求7所述的振動片，其特征在于，

所述槽部以在俯視時重疊的方式包含：

第1槽部，其設置在所述第1主面上；以及

第2槽部，其設置在所述第2主面上，

在設所述臂部的厚度為t、設所述第1槽部的底部與所述第2槽部的底部之間的距離為t1時，t1/t為10％以上40％以下。

9.根據權利要求7所述的振動片，其特征在于，

所述W3為15μm以上30μm以下。

10.根據權利要求7所述的振動片，其特征在于，

所述振動片包含設置在所述振動臂上的激勵電極，

所述槽部包含：

電極形成區域，其設置有所述激勵電極；以及

電極未形成區域，其配置于所述施重部側，未設置有所述激勵電極。

11.根據權利要求10所述的振動片，其特征在于，

在設所述槽的沿著所述第1方向的長度為Ld、設所述電極形成區域的沿著所述第1方向的長度為L1時，

滿足72.8％≤L1/Ld≤82.8％。

12.根據權利要求11所述的振動片，其特征在于，

所述電極未形成區域的所述基部側的一端配置于所述施重部、與作為在所述振動臂上產生的諧波振動的波節的位置之間。

13.根據權利要求7所述的振動片，其特征在于，

所述振動片包含設置在所述振動臂上的激勵電極，

所述激勵電極包含：

基底層；以及

層疊于所述基底層的與所述振動臂側相反的一側的被覆層，

在設所述基底層的厚度為Tb、設所述被覆層的厚度為Tc時，滿足Tb/Tc≤4/7，

所述基底層由鉻構成，

所述基底層的厚度為以上以下。

14.根據權利要求7所述的振動片，其特征在于，

所述振動臂是沿著所述第2方向排列的一對振動臂，

所述振動臂包含與所述固定端連接的基部。

15.根據權利要求14所述的振動片，其特征在于，

在設所述振動臂的所述自由端和在俯視時所述基部的與所述振動臂側相反的一側的一端之間的距離為La、設包含所述一對振動臂和所述基部的系統的重心與所述相反的一側的一端之間的距離為Lg時，Lg/La為2/3以下。