[發明專利]一種亞微米曲率半徑單顆粒金剛石針尖納米深度高速劃擦方法有效
| 申請號： | 201410324503.4 | 申請日： | 2014-07-08 |
| 公開（公告）號： | CN104070422A | 公開（公告）日： | 2014-10-01 |
| 發明（設計）人： | 張振宇;王博;康仁科;郭東明 | 申請（專利權）人： | 大連理工大學 |
| 主分類號： | B24B1/00 | 分類號： | B24B1/00;B24B7/22;B28D5/00 |
| 代理公司： | 大連理工大學專利中心 21200 | 代理人： | 侯明遠 |
| 地址： | 116024 遼*** | 國省代碼： | 遼寧;21 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 微米 曲率 半徑 顆粒 金剛石 針尖 納米 深度 高速 方法 | ||
【權利要求書】：
1.一種亞微米曲率半徑單顆粒金剛石針尖納米深度高速劃擦方法，采用亞微米曲率半徑單顆粒金剛石針尖，實現脆性晶片納米深度高速劃擦方法，其特征是：
(1)樣品為硅片、藍寶石、氧化鎂、碳化硅晶片；
(2)采用天然金剛石為針尖原料，重量為0.1-0.2克拉，將天然金剛石用高頻焊接的方法用鎳基、鐵基、或鈷基合金粉末固定在金屬桿體上；
(3)采用超精密磨削的方法加工天然金剛石，磨具開始為金剛石砂輪，最終用鑄鐵盤，磨具轉速為30-60m/s,磨削進給量為200nm-2μm/s；
(4)超精密磨削后的金剛石針尖采用離子束拋光的方法進行修銳；
(5)單顆粒金剛石針尖曲率半徑為50-950納米，針尖形狀為圓錐、三棱錐和四棱錐；
(6)將加工后的亞微米曲率半徑金剛石針尖安裝到超精密平面磨床上，利用硅片的平面度和磨床的端面跳動的組合偏差，完成亞微米曲率半徑單顆粒金剛石針尖納米深度高速劃擦實驗；
(7)納米深度高速劃擦時金剛石針尖的速率為1.7-40.2m/s；
(8)納米深度高速劃擦后的表面采用場發射電鏡測試劃痕形貌和寬度，原位進行聚焦離子束切割測試劃痕深度，并原位制備成透射電鏡樣品，在透射電鏡中，進行亞表面晶格變形原子晶格成像。
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