[發(fā)明專利]不銹鋼芯片激光切割加工與貼膜裝置有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201410300974.1 | 申請日: | 2014-06-26 |
| 公開(公告)號: | CN104096978A | 公開(公告)日: | 2014-10-15 |
| 發(fā)明(設(shè)計(jì))人: | 張德龍;黃波;王忠生;劉軒;鄭福志;金釗;田玉鑫;張男男;錢雨松 | 申請(專利權(quán))人: | 長春光華微電子設(shè)備工程中心有限公司 |
| 主分類號: | B23K26/38 | 分類號: | B23K26/38;B23K26/70;B32B37/10 |
| 代理公司: | 長春吉大專利代理有限責(zé)任公司 22201 | 代理人: | 王淑秋 |
| 地址: | 130033 吉林*** | 國省代碼: | 吉林;22 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 不銹鋼 芯片 激光 切割 加工 裝置 | ||
1.一種不銹鋼芯片激光切割加工與貼膜裝置,其特征在于包括吸附平臺(7),精定位相機(jī)(63),激光器切割系統(tǒng)(8),自動貼膜與自動切膜機(jī)構(gòu);所述的吸附平臺(7)通過X向直線運(yùn)動機(jī)構(gòu)、Y向直線運(yùn)動機(jī)構(gòu)和θ向旋轉(zhuǎn)運(yùn)動機(jī)構(gòu)安裝在平臺基座(1)上,可在平臺基座(1)作X向、Z向直線運(yùn)動和θ向旋轉(zhuǎn)運(yùn)動;精定位相機(jī)(63)固定于吸附平臺(7)的上方;激光器切割系統(tǒng)(8)固定在平臺基座(1)上;自動貼膜與自動切膜機(jī)構(gòu)包括立板(9-1),放膜輪(9-2),隔離膜收膜輪(9-3),壓膜裝置(9-4),切膜裝置(9-5),分膜裝置(9-6),廢膜收膜輪(9-7);立板(9-1)固定在平臺基座(1)上;放膜輪(9-2)安裝在立板(9-1)上,可在立板(9-1)上旋轉(zhuǎn);隔離膜收膜輪(9-3)安裝在立板(9-1)上,可在立板(9-1)上旋轉(zhuǎn),并且隔離膜收膜輪(9-3)通過聯(lián)動機(jī)構(gòu)與放膜輪(9-2)連接;壓膜裝置(9-4)位于吸附平臺(7)的X向運(yùn)動路徑的上方,當(dāng)吸附平臺沿X方向移動時壓膜裝置(9-4)的壓膜輪可由吸附平臺(7)上滾過將放膜輪(9-2)放出的膠膜粘貼于吸附平臺上的工件上;切膜裝置(9-5)位于吸附平臺(7)的X向運(yùn)動路徑的上方,貼膜完成后切膜裝置(9-5)的切刀可在吸附平臺上水平旋轉(zhuǎn);分膜裝置(9-6)的位于平臺基座(1)上,其中的分膜桿(9-66)可沿X向運(yùn)動經(jīng)由吸附平臺(7)一側(cè)的上方至另一側(cè)的上方;廢膜收膜輪(9-7)安裝在立板(9-1)上,且其轉(zhuǎn)軸與旋轉(zhuǎn)驅(qū)動機(jī)構(gòu)連接。?
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的不銹鋼芯片激光切割加工與貼膜裝置,其特征在于所述壓膜裝置(9-4)包括壓膜輪(9-44)和壓膜升降機(jī)構(gòu),壓膜輪(9-44)安裝在壓膜升降機(jī)構(gòu)上。?
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的不銹鋼芯片激光切割加工與貼膜裝置,其特征在于所述壓膜升降機(jī)構(gòu)為壓膜氣缸(9-42),其缸體通過固定橫梁(9-41)安裝固定在立板(9-1)上,活塞下端固定壓膜輪支撐座(9-43);壓膜輪(9-44)通過彈性連接機(jī)構(gòu)安裝在壓膜輪支撐座(9-43)的下方。?
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的不銹鋼芯片激光切割加工與貼膜裝置,其特征在于所述切膜裝置(9-5)包括切刀(9-59),切刀旋轉(zhuǎn)梁(9-56),切刀垂直運(yùn)動機(jī)構(gòu),切刀水平旋轉(zhuǎn)驅(qū)動機(jī)構(gòu);切刀(9-59)安裝在切刀旋轉(zhuǎn)梁(9-56)上,切刀旋轉(zhuǎn)梁(9-56)安裝在切刀垂直運(yùn)動機(jī)構(gòu)上,并通過傳動機(jī)構(gòu)與水平旋轉(zhuǎn)驅(qū)動機(jī)構(gòu)連接。?
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的不銹鋼芯片激光切割加工與貼膜裝置,其特征在于所述切刀垂直運(yùn)動機(jī)構(gòu)包括切膜汽缸(9-51),切膜橫梁(9-52);切膜汽缸(9-51)的缸體固定在立板(9-1)上,切膜橫梁(9-52)安裝固定在切膜汽缸(9-51)的活塞下端;切刀水平旋轉(zhuǎn)驅(qū)動機(jī)構(gòu)包括切膜電機(jī)(9-54),切膜電機(jī)固定座(9-53),切刀旋轉(zhuǎn)軸(9-55);切膜電機(jī)(9-54)通過切膜電機(jī)固定座(9-53)安裝固定在切膜橫梁(9-52)上,切刀旋轉(zhuǎn)軸(9-55)安裝在切膜橫梁(9-52)上,切膜電機(jī)(9-54)輸出軸通過傳動機(jī)構(gòu)與切刀旋轉(zhuǎn)軸(9-55)連接;切刀旋轉(zhuǎn)梁(9-56)的一端與切刀旋轉(zhuǎn)軸(9-55)固定連接,切刀(9-59)安裝在切刀旋轉(zhuǎn)梁(9-56)的另一端。?
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的不銹鋼芯片激光切割加工與貼膜裝置,其特征在于所述切膜裝置(9-5)還包括切刀調(diào)節(jié)座(5-57)、切刀固定座(9-58);切刀調(diào)節(jié)座(5-57)安裝在切刀旋轉(zhuǎn)梁(9-56)的遠(yuǎn)離切刀旋轉(zhuǎn)軸(9-55)的一端,可在切刀旋轉(zhuǎn)梁(9-56)上移動;切刀固定座(9-58)安裝固定在切刀調(diào)節(jié)座(5-57)上;切刀(9-59)安裝在切刀固定座(9-58)上,可在切刀固定座(9-58)上旋轉(zhuǎn)。?
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的不銹鋼芯片激光切割加工與貼膜裝置,其特征在于所述分膜裝置(9-6)包括分膜桿(9-66),分膜X向運(yùn)動機(jī)構(gòu);分膜桿(9-66)沿Y向放置并安裝在分膜X向運(yùn)動機(jī)構(gòu)上,可在分膜X向運(yùn)動機(jī)構(gòu)帶動下由吸附平臺(7)上方經(jīng)過。?
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