[發(fā)明專利]有機(jī)/無機(jī)雜化鈣鈦礦薄膜的制備方法及其薄膜的用途

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201410295658.X
• 申請日: 2014-06-26
• 公開（公告）號: CN104051628B
• 公開（公告）日: 2017-02-15
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 周春蘭;李鵬申;婁茜;朱俊杰;王文靜
• 申請（專利權(quán)）人: 中國科學(xué)院電工研究所
• 主分類號: H01L51/48
• 分類號: H01L51/48;H01L51/42;H01L51/46
• 代理公司: 北京科迪生專利代理有限責(zé)任公司11251
• 代理人: 關(guān)玲

1.一種有機(jī)/無機(jī)雜化鈣鈦礦薄膜的制備方法，其特征在于，所述的制備方法包括以下步驟：

1)按照摩爾比重稱量鹵素有機(jī)鹽A和二價金屬鹵化物B；所述的鹵素有機(jī)鹽A中，鹵素是I、Cl或者Br，有機(jī)鹽部分是CH₃NH₃或NH₂＝CHNH₃；所述的二價金屬鹵化物B中的金屬元素包含鉛Pb和錫Sn；

2)將稱量好的鹵素有機(jī)鹽A和二價金屬鹵化物B分別放入兩個石英舟中；

3)將載有鹵素有機(jī)鹽A和二價金屬鹵化物B的兩個石英舟分別放入到管式爐中的石英管內(nèi)的兩個不同溫區(qū)；石英管的一端封閉，另外一端開口，用于進(jìn)出樣品和與真空系統(tǒng)連接；其中放有鹵素有機(jī)鹽A的石英舟置于靠近石英管開口端較低溫度區(qū)域，將放有二價金屬鹵化物B的石英舟設(shè)置于石英管中間的高溫區(qū)域，將襯底C置于較放有鹵素有機(jī)鹽A的石英舟距離石英管開口端更近的較低溫度區(qū)域；

4)將石英管的開口端與真空系統(tǒng)進(jìn)行封閉連接，對石英管抽氣，待石英管達(dá)到真空狀態(tài)，對石英管加熱，在襯底C上形成有機(jī)/無機(jī)雜化鈣鈦礦薄膜；

所述的鹵素有機(jī)鹽A與所述二價金屬鹵化物B的摩爾比重為1：1至4：1之間。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的有機(jī)/無機(jī)雜化鈣鈦礦薄膜的制備方法，其特征在于，所述的步驟4)中，石英管中的真空度范圍在1×10^-1-1×10^-4Pa。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的有機(jī)/無機(jī)雜化鈣鈦礦薄膜的制備方法，其特征在于，所述的襯底C是硅片或玻璃片；在真空度達(dá)到預(yù)定值之后，對石英管進(jìn)行加熱使鹵素有機(jī)鹽A所在溫區(qū)的溫度在150-200℃之間，二價金屬鹵化物B所在溫區(qū)的溫度在350-400℃之間，襯底C所在溫區(qū)的溫度范圍為60-90℃；所述三個溫區(qū)在上述溫度范圍下保溫1-3小時。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的有機(jī)/無機(jī)雜化鈣鈦礦薄膜的制備方法，其特征在于，所述的襯底C預(yù)先沉積上二價金屬鹵化物B，將襯底C置于較鹵素有機(jī)鹽A距離石英管開口端更近的較低溫度區(qū)域，其中襯底C是硅片或玻璃片；在真空度達(dá)到預(yù)定數(shù)值之后，對石英管進(jìn)行加熱保溫，使鹵素有機(jī)鹽A所在溫區(qū)的溫度范圍在150-200℃之間，襯底C所在溫區(qū)的范圍為60-90℃。

5.采用權(quán)利要求1至4的任何一項(xiàng)所述的有機(jī)/無機(jī)雜化鈣鈦礦薄膜制備方法制備的有機(jī)/無機(jī)雜化鈣鈦礦薄膜的太陽電池，其特征在于，所述的太陽電池含有有機(jī)/無機(jī)雜化鈣鈦礦薄膜，所述的太陽電池從太陽光照射面，即前表面起向下排列順序依次為：玻璃襯底、透明導(dǎo)電層、電子收集層、有機(jī)/無機(jī)雜化鈣鈦礦層、空穴傳輸層和金屬電極。