[發明專利]具有兩個慣性傳感器的傳感器系統

有效

• 申請號: 201410290742.2
• 申請日: 2014-06-25
• 公開（公告）號: CN104251920B
• 公開（公告）日: 2019-09-10
• 發明（設計）人: D·C·邁澤爾;T·卡特曼
• 申請（專利權）人: 羅伯特·博世有限公司
• 主分類號: G01P15/08
• 分類號: G01P15/08;G01P3/44;B81B7/02
• 代理公司: 永新專利商標代理有限公司 72002
• 代理人: 郭毅

1.一種傳感器系統(1)，其具有至少兩個微機械慣性傳感器(3，4，5)，所述至少兩個微機械慣性傳感器能夠運動地與一個襯底(2)連接，其中，每一個慣性傳感器(3，4)具有一個功能層(29)，其中，所述兩個慣性傳感器(3，4，5)的功能層(29)的厚度不同，其中，所述兩個慣性傳感器(3，4，5)彼此并排地設置在所述襯底(2)上。

2.根據權利要求1所述的傳感器系統，其中，至少一個慣性傳感器(3)構造為加速度傳感器，并且第二慣性傳感器(4)構造為轉速傳感器。

3.根據權利要求1所述的傳感器系統，其中，兩個慣性傳感器(3，4)構造為加速度傳感器，或者兩個慣性傳感器(3，4)構造為轉速傳感器。

4.根據以上權利要求中任一項所述的傳感器系統，其中，第一慣性傳感器(3)具有格柵結構(14，15)，其中，所述格柵結構(14，15)由所述功能層(29)構成，其中，所述格柵結構(14，15)通過多個彈簧元件(9)與所述襯底(2)連接。

5.根據以上權利要求中任一項所述的傳感器系統，其中，第二慣性傳感器(5)具有擺臂質量(16)，其中，所述擺臂質量(16)由所述功能層構成，其中，所述擺臂質量(16)通過彈簧(18)固定在所述襯底(2)上。

6.根據以上權利要求中任一項所述的傳感器系統，其中，一個慣性傳感器(5)具有蹦床質量(25)，所述蹦床質量由所述功能層(29)構成，其中，所述蹦床質量(25)通過彈簧(9)固定在所述襯底(2)上。

7.根據以上權利要求中任一項所述的傳感器系統，其中，所述慣性傳感器(3，4，5)的功能層(29)具有0.5μm和100μm之間的厚度，并且優選地層厚度方面的差至少是1μm。

8.根據以上權利要求中任一項所述的傳感器系統，其中，所述第一慣性傳感器(3)的功能層(29)具有5μm和50μm之間的厚度。

9.根據以上權利要求中任一項所述的傳感器系統，其中，所述第二慣性傳感器(5)的功能層(29)具有0.5μm和5μm之間的厚度。

10.根據以上權利要求中任一項所述的傳感器系統，其中，所述慣性傳感器(3，4，5)的功能層(29)構造為外延半導體層。

11.根據以上權利要求中任一項所述的傳感器系統，其中，所述慣性傳感器(3，4，5)分別設置在氣體密封的空腔(21，22，23)中，其中，在所述空腔(21，22，23)中存在不同的氣體壓力。

12.根據以上權利要求中任一項所述的傳感器系統，其中，至少一個慣性傳感器(3，4，5)的功能層(29)至少具有多晶硅或由多晶硅構成。

13.根據權利要求7至12中任一項所述的傳感器系統，其中，優選構造為加速度傳感器的所述第一慣性傳感器(3)的功能層(29)具有0.5μm和5μm之間的范圍內的厚度，其中，優選構造為加速度傳感器的所述第二慣性傳感器(4)的功能層(29)具有5μm和50μm之間的范圍內的厚度，其中，例如構造為轉速傳感器的第三慣性傳感器(5)的功能層(29)具有5μm和50μm之間的范圍內的厚度。

14.根據權利要求13所述的傳感器系統，其中，所述第一慣性傳感器(3)檢測垂直于所述襯底(2)的z方向上的加速度，其中，所述第二慣性傳感器(4)檢測平行于所述襯底(2)的x方向上的加速度。

15.根據以上權利要求中任一項所述的傳感器系統，其中，至少兩個慣性傳感器(3，4)的功能層(29)通過連接元件(30)彼此連接。