[發(fā)明專利]一種高效環(huán)保型相變存儲器用機械拋光液

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 201410282465.0
• 申請日: 2014-06-23
• 公開（公告）號: CN104046252A
• 公開（公告）日: 2014-09-17
• 發(fā)明（設計）人: 范向奎
• 申請（專利權）人: 青島寶泰新能源科技有限公司
• 主分類號: C09G1/02
• 分類號: C09G1/02
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

技術領域

本發(fā)明涉及一種高效環(huán)保型相變存儲器用機械拋光液。

背景技術

相變存儲器因具有高速讀取、高可擦寫次數、非易失性、元件尺寸小、功耗低、抗強震動和抗輻射、成本具有競爭力等優(yōu)點，而被國際半導體行業(yè)協(xié)會認為是最有可能取代目前的閃存存儲器的下一代非易失性存儲器。相變存儲器技術的基本原理是以硫系化合物為存儲介質，利用電能使材料在晶態(tài)與非晶態(tài)(高阻)之間相互轉換實現信息的寫入與擦除，信息的讀出則靠測量電阻的變化實現。存儲單元包括由電介質材料定義的細孔，相變材料沉積在細孔中，相變材料在細孔的一端上連接電極。電極接觸使電流通過該通道產生焦耳熱對該單元進行編程，或者讀取該單元的電阻狀態(tài)。

目前，在構建相變存儲單元時，通行的做法是:先通過磁控濺射的方法沉積相變材料在由電介質材料定義的細孔中，然后通過反應離子刻蝕CRIE)或者化學機械拋光的方法，將細空上方的相變材料進行去除。

發(fā)明內容

本發(fā)明所要解決的技術問題是提供一種高效環(huán)保型相變存儲器用機械拋光液。

為解決上述技術問題，本發(fā)明采用的技術方案是：

一種高效環(huán)保型相變存儲器用機械拋光液，其特征在于，包括下列重量份數的物質：表面活性劑5-9份，有機添加劑7-9份，除油劑3-8份，除油粉7-12份，表調劑11-15份，硫酸鉀7-16份，無水硫酸鈉10-16份，氨水7-13份，氫氧化鋁7-13份，空心玻璃微珠9-13份，山梨醇11-18份，聚丙烯7-10份，硬脂酰胺10-15份。

本發(fā)明的拋光液性能穩(wěn)定，拋光效果好，可滿足制備納電子相變存儲器中工藝的需要。

具體實施方式

實施例1

一種高效環(huán)保型相變存儲器用機械拋光液，其特征在于，包括下列重量份數的物質：表面活性劑5-9份，有機添加劑7-9份，除油劑3-8份，除油粉7-12份，表調劑11-15份，硫酸鉀7-16份，無水硫酸鈉10-16份，氨水7-13份，氫氧化鋁7-13份，空心玻璃微珠9-13份，山梨醇11-18份，聚丙烯7-10份，硬脂酰胺10-15份。