[實用新型]劈刀限位結構

有效

• 申請號: 201420211223.8
• 申請日: 2014-04-28
• 公開（公告）號: CN203876059U
• 公開（公告）日: 2014-10-15
• 發明（設計）人: 陳孟端
• 申請（專利權）人: 正恩科技有限公司
• 主分類號: B28D5/04
• 分類號: B28D5/04
• 代理公司: 北京康信知識產權代理有限責任公司 11240
• 代理人: 余剛;李靜

技術領域

本實用新型涉及劈裂晶圓的晶圓劈裂機，尤其是涉及晶圓劈裂機的劈裂結構。

背景技術

關于劈刀切割制程，請參閱圖1與圖2所示，為已知技術的正視示意圖與側視示意圖，其包含有一乘載板1、一擊錘單元2、一劈裂刀3與一晶圓支撐載臺4；該乘載板1的一側設置于一滑塊5上，且該滑塊5于一滑軌6上滑移，該乘載板1通過該滑塊5而與該滑軌6進行相對移動，藉以改變該劈裂刀3的高度，已準備對該晶圓支撐載臺4上的一晶圓7進行劈裂。而該擊錘單元2與該劈裂刀3設置于該乘載板1的另一側，且該劈裂刀3通過一彈性滑移板8設置于該乘載板1上，該彈性滑移板8通過一彈簧9的回復力而可復位地滑移設置于該乘載板1上，亦即該劈裂刀3為可復位滑移地相對該乘載板1移動。

此已知的劈刀切割裝置的運作方式，當該晶圓7置于該晶圓支撐載臺4上時，該滑塊5相對該滑軌6滑移，使該乘載板1滑動至該劈裂刀3接近該晶圓7，再由該擊錘單元2對該劈裂刀3實施撞擊，使該劈裂刀3通過該彈性滑移板8壓縮該彈簧9，朝該晶圓支撐載臺4上的該晶圓7位移而實施劈裂的動作，并通過該彈簧9的彈力而復位。

然而此通過該擊錘單元2敲擊該劈裂刀3的劈裂方式，事實上無法精確控制該劈裂刀3的位移量，換句話說，該擊錘單元2縱然提供相同的敲擊力道，由于外部環境的不同，該劈裂刀3的位移量事實上會有相當的差異，其導致該劈裂刀3可能會過度擠壓該晶圓7，造成該晶圓7會有崩角的現象，而造成劈裂良率下降。

請再參閱圖3所示，為已知另一晶圓劈裂結構圖，其為通過對稱的至少兩個彈片9A來固定劈裂刀3，劈裂刀3被擊錘單元2撞擊之后，該至少兩個彈片9A會變形，而使劈裂刀3下移，以供執行劈列作業，同樣地該劈裂刀3被擊錘單元2撞擊之后，該至少兩個彈片9A的變形無法精確控制，亦即劈裂刀3的下移量會不受控制，而造成劈裂良率下降。

顯然已知劈裂結構，其劈裂刀3的行程無法精確控制，而造成劈裂良率的下降，無法滿足使用上的需求。

實用新型內容

爰此，本實用新型的主要目的在于提供一種劈刀限位結構，其可限制劈裂刀的位移行程，以提升制程良率。

基于上述目的，本實用新型為一種劈刀限位結構，供劈裂一晶圓，該劈刀限位結構包含一乘載板、一彈性固定件、一劈裂刀、一振動單元與一限位單元，其中該彈性固定件能彈性復位地固定于該乘載板上，該劈裂刀朝向該晶圓且固定于該彈性固定件上，該振動單元固定于該乘載板上且具有驅使該劈裂刀朝該晶圓移動的一位移部，該限位單元具有一下限位塊，該下限位塊固定于該乘載板上且卡抵該劈裂刀以限制該劈裂刀穿入該晶圓的移動量。

進一步地，所述彈性固定件為一彈性滑移板，所述彈性滑移板與所述乘載板相對地滑移，且所述彈性滑移板與所述乘載板之間設置有一彈簧，所述彈簧的兩端分別卡抵所述彈性滑移板與所述乘載板。

進一步地，所述限位單元具有一上限位塊，所述上限位塊固定于所述乘載板上，且所述彈簧推移所述彈性滑移板以抵壓于所述上限位塊。

進一步地，所述彈性滑移板嵌入所述乘載板而與所述乘載板相對地滑移。

進一步地，所述彈性滑移板具有容置所述彈簧的一缺槽，所述乘載板具有伸入所述缺槽并卡抵所述彈簧的一橫板。

進一步地，所述彈性固定件為對稱設置的至少兩個彈片，所述至少兩個彈片固定所述劈裂刀，且固定于所述乘載板上，并且所述劈裂刀具有供所述下限位塊卡抵的一凸緣。

進一步地，所述乘載板固定于一滑塊上，且所述滑塊于一滑軌上滑移。

進一步地，所述滑軌固定于一劈裂機上。

據此，通過該下限位塊的卡抵可以限制該劈裂刀朝該晶圓的位移量，避免該劈裂刀的行程太大，造成該劈裂刀過度擠壓該晶圓而產生崩角，藉以滿足提升劈裂良率的需求。

附圖說明

圖1為已知晶圓劈裂結構正視示意圖。

圖2為已知晶圓劈裂結構側視示意圖。

圖3為另一已知晶圓劈裂結構示意圖。

圖4為本實用新型第一實施例結構圖。

圖5為本實用新型第一實施例劈裂刀位移結構圖。

圖6為本實用新型第二實施例結構圖。

具體實施方式

為俾使貴委員對本實用新型的特征、目的及功效，有著更加深入的了解與認同，茲列舉優選實施例并配合圖式說明如后：