[發明專利]一種超大型細晶鉬平面靶的制備方法有效
| 申請號： | 201410274868.0 | 申請日： | 2014-06-19 |
| 公開（公告）號： | CN104057088A | 公開（公告）日： | 2014-09-24 |
| 發明（設計）人： | 張靈杰;張二召 | 申請（專利權）人： | 洛陽科威鎢鉬有限公司 |
| 主分類號： | B22F3/16 | 分類號： | B22F3/16;B22F3/17;C23C14/34 |
| 代理公司： | 洛陽公信知識產權事務所(普通合伙) 41120 | 代理人： | 張燕 |
| 地址： | 471000 *** | 國省代碼： | 河南;41 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 超大型 細晶鉬 平面 制備 方法 | ||
1.一種超大型細晶鉬平面靶的制備方法，采用純度＞99.95%的鉬粉制得，其中，鉬平面靶的長度＞450㎜，寬度＞320㎜，厚度＞75㎜，其特征在于：
步驟一、取粒度2.8-3.8μm的鉬粉，裝入事先制好的橡膠模套內，采160-200MPa靜壓成型，后置于中頻爐，在氫氣的氣氛下，保持溫度1900-2000℃燒結55-65小時，燒成板坯后，備用；
步驟二、從中頻爐取出燒成的板坯，置入事先制好的模具中，控制板坯的溫度1350-1400℃，鍛打板坯模具，鍛打時控制板坯的變形量＜50%，鍛打成長度＞450㎜，寬度＞320㎜，厚度＞75㎜的板狀構件；
步驟三、卸掉模具，取出鍛打成型的板狀構件，置入1000-1200℃的回火爐中，保持1-3小時，穩定細晶組織；
步驟四、對板狀構件進行機械加工，后經清洗，干燥，制得超大型細晶鉬平面靶。
2.根據權利要求1所述的一種超大型細晶鉬平面靶的制備方法，其特征在于：所述的燒結，可在真空下燒結，真空燒結時溫度從零度至2000℃逐步升溫。
3.根據權利要求1所述的一種超大型細晶鉬平面靶的制備方法，其特征在于：所述步驟一中燒結過程中，中頻爐內保持溫度2000℃燒結60小時。
4.根據權利要求1所述的一種超大型細晶鉬平面靶的制備方法，其特征在于：所述步驟二中，鍛打之前控制板坯的溫度1350℃。
5.根據權利要求1所述的一種超大型細晶鉬平面靶的制備方法，其特征在于：所述步驟三中，取出鍛打成型的板狀構件置入1200℃的回火爐中，保持2小時，穩定細晶組織。
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