[發(fā)明專利]一種取向熱敏薄膜電阻的制備方法有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201410260345.0 | 申請日: | 2014-06-12 |
| 公開(公告)號: | CN104003724A | 公開(公告)日: | 2014-08-27 |
| 發(fā)明(設(shè)計)人: | 徐金寶;熊信謙;王紅光;王磊;邊亮 | 申請(專利權(quán))人: | 中國科學(xué)院新疆理化技術(shù)研究所 |
| 主分類號: | C04B35/50 | 分類號: | C04B35/50 |
| 代理公司: | 烏魯木齊中科新興專利事務(wù)所 65106 | 代理人: | 張莉 |
| 地址: | 830011 新疆維吾爾*** | 國省代碼: | 新疆;65 |
| 權(quán)利要求書: | 查看更多 | 說明書: | 查看更多 |
| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 一種 取向 熱敏 薄膜 電阻 制備 方法 | ||
1.一種取向熱敏薄膜電阻的制備方法,其特征在于按下列步驟進(jìn)行:
a、將硝酸鑭、乙酸錳和硝酸鋁作原料,分別溶解在冰醋酸中和乙二醇甲醚中,其中冰醋酸與乙二醇甲醚的體積比為1:1,然后在溫度60-90℃下,攪拌,待溶解完畢,停止加熱,冷卻至室溫;
b、再將步驟a中三種溶液混合,繼續(xù)攪拌6h,調(diào)制成濃度為0.05-0.2mol/L溶液,過濾,靜置8h,形成錳鋁酸鑭溶膠;
c、利用旋涂法,室溫下將步驟b錳鋁酸鑭溶膠滴在(100)取向的鎳酸鑭基底上,在勻膠機上勻膠20s,轉(zhuǎn)速為3500r/min,然后在管式爐內(nèi)保持3min,處理溫度為300℃,揮發(fā)薄膜中的有機物,重復(fù)勻膠制膜,得到150-1500nm厚度的薄膜;
d、將步驟c獲得的薄膜在溫度750℃下靜置處理1h,得到均勻的取向熱敏薄膜,然后在離子濺射儀上濺射金電極,溫度200℃下靜置10min,再焊接Pt引線,即可得到薄膜熱敏電阻。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法,其特征在于步驟a中原料硝酸鑭、乙酸錳和硝酸鋁的摩爾比為La:Mn:Al=1:0.4-0.7:0.3-0.6。
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