[發(fā)明專利]基于ITO加熱片的金屬膜電極的制作方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201410259664.X
• 申請(qǐng)日: 2014-06-10
• 公開（公告）號(hào): CN104195509A
• 公開（公告）日: 2014-12-10
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 胡俊濤;余承東;程群;宗艷鳳;梅文娟;鄧亞飛;呂國強(qiáng)
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 合肥工業(yè)大學(xué)
• 主分類號(hào): C23C14/04
• 分類號(hào): C23C14/04;C23C14/18;C23C14/24;C23C14/46
• 代理公司: 安徽合肥華信知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 34112
• 代理人: 余成俊

1.基于ITO加熱片的金屬膜電極的制作方法，其特征在于，包括以下步驟：

（1）首先將ITO基板依次用丙酮溶液、無水乙醇和去離子水各超聲處理8-12分鐘；其中丙酮溶液的濃度為99%-99.5%；

（2）然后用氧等離子清洗機(jī)清洗5-10分鐘，使得ITO基板表面清洗干凈；

（3）再把ITO基板移至手套箱中，在手套箱中將ITO基板和掩膜板固定；手套箱參數(shù)為：氧含量<0.1ppm，水含量<0.01ppm）；

（4）在手套箱中將ITO基板的一面和掩膜板完全貼合，掩膜板的作用是制備電極部分，在蒸鍍時(shí)，金屬只蒸鍍到ITO基板的電極部分；

（5）把ITO基板和掩膜板移至真空蒸鍍系統(tǒng)的真空腔室內(nèi)的基片架上，真空蒸鍍系統(tǒng)包括有真空腔室，真空腔室的一側(cè)開孔并密封連接冷凝泵，冷凝泵通過冷凝管連接機(jī)械泵，真空腔室內(nèi)下端設(shè)有蒸發(fā)源、上端一側(cè)設(shè)有膜厚儀，真空腔室中還設(shè)有旋轉(zhuǎn)桿一，旋轉(zhuǎn)桿一的頂部固定有擋板，擋板的一側(cè)固定在旋轉(zhuǎn)桿一上，擋板的上方設(shè)有基片架；基片架固定在其上方的旋轉(zhuǎn)桿二上，蒸發(fā)源與電源連接；

（6）將真空腔室中的氮?dú)鈿怏w抽出，當(dāng)腔室內(nèi)的真空度達(dá)到<10^-7Torr時(shí)開始蒸鍍，用功率為600w的電子束濺射金屬，金屬受熱開始蒸發(fā)，同時(shí)用膜厚儀的晶振片檢測(cè)濺射速率，當(dāng)速率能穩(wěn)定達(dá)到20?/S時(shí)，通過旋轉(zhuǎn)桿一的轉(zhuǎn)動(dòng)打開擋板；此時(shí)，金屬分子開始蒸鍍到ITO基板上；工作時(shí)ITO基板是通過基片架連接的旋轉(zhuǎn)桿二不停的旋轉(zhuǎn)，轉(zhuǎn)速為20轉(zhuǎn)/分鐘。