[發明專利]一種二維自標定標記點檢測對準系統

有效

• 申請號: 201410255840.2
• 申請日: 2014-06-10
• 公開（公告）號: CN104019744A
• 公開（公告）日: 2014-09-03
• 發明（設計）人: 朱煜;胡楚雄;徐振源;張鳴;楊進;穆海華;胡金春;徐登峰;尹文生;楊開明;劉召;成榮
• 申請（專利權）人: 清華大學;北京華卓精科科技有限公司
• 主分類號: G01B11/00
• 分類號: G01B11/00
• 代理公司: 北京鴻元知識產權代理有限公司 11327
• 代理人: 邸更巖

1.一種二維自標定標記點檢測對準系統，其特征在于：包括零位信號讀取儀(1)、光柵尺輔助標定板(3)、讀數頭檢測部分(4)和測量基準架(5)；

所述光柵尺輔助標定板(3)設有X方向槽道(33)、Y方向槽道(34)、標有零位標記點的X方向光柵尺(31)和標有零位標記點的Y方向光柵尺(32)；標有零位標記點的X方向光柵尺(31)和標有零位標記點的Y方向光柵尺(32)分別安裝在X方向槽道(33)和Y方向槽道(34)內；同向槽道間相互平行且間距相等；所述讀數頭檢測部分(4)包括X方向第一光柵尺讀數頭(41)和Y方向第一光柵尺讀數頭(43)；所述零位信號讀取儀(1)與二維工作臺(2)通過信號線相互連接；

所述光柵尺輔助標定板(3)放置于二維工作臺(2)上，標定板的三個角分別由第一限位塊(37)，第二限位塊(38)，第三限位塊(39)固定于二維工作臺(2)上，標定板第四個角的兩邊分別由安裝在二維工作臺(2)上的第一基準條(35)和第二基準條(36)固定；

所述讀數頭檢測部分(4)的X方向第一光柵尺讀數頭(41)通過第一安裝支架(42)安裝在測量基準架(5)X方向一側的面上；Y方向第一光柵尺讀數頭(43)通過第二安裝支架(44)安裝在測量基準架(5)Y方向一側的面上；所述測量基準架(5)安裝在二維工作臺(2)的龍門架上。

2.根據權利要求1所述的一種二維自標定標記點檢測對準系統，其特征在于：所述的讀數頭檢測部分(4)還包括X方向第二光柵尺讀數頭(45)和Y方向第二光柵尺讀數頭(47)；其中X方向第二光柵尺讀數頭(45)通過第三安裝支架(46)安裝在測量基準架(5)X方向另一側的面上；Y方向第二光柵尺讀數頭(47)通過第四安裝支架(48)安裝在測量基準架(5)Y方向另一側的面上。

3.根據權利要求1或2所述的一種二維自標定標記點檢測對準系統，其特征在于：所述的零位信號讀取儀(1)為基于FPGA的高速多路光柵信號處理系統。

4.根據權利要求1或2所述的一種二維自標定標記點檢測對準系統，其特征在于：所述的光柵尺輔助標定板(3)的X方向槽道(33)長度為50mm—150mm，寬度為5mm—10mm，深度為0.3-0.8mm；Y方向槽道(34)長度為50mm—150mm，寬度為5mm—10mm，深度為0-0.5mm；X方向與Y方向槽道形成深度為0.2mm—0.4mm的高度差。

5.根據權利要求1或2所述的一種二維自標定標記點檢測對準系統，其特征在于：所述的標有零位標記點的X方向光柵尺(31)和標有零位標記點的Y方向光柵尺(32)均采用厚度為0.2mm—0.5mm的一維反射型光柵，分辨率為1.25nm。

6.根據權利要求1所述的一種二維自標定標記點檢測對準系統，其特征在于：所述的第一安裝支架(42)和第二安裝支架(44)均為L型結構,由合金鋁材料加工制成。

7.根據權利要求2所述的一種二維自標定標記點檢測對準系統，其特征在于：所述的第三安裝支架(46)和第四安裝支架(48)均為L型結構,由合金鋁材料加工制成。

8.根據權利要求1或2所述的一種二維自標定標記點檢測對準系統，其特征在于：所述的測量基準架(5)的外形為長方體結構，在該測量基準架的上部設有多排用于調節自身高度和水平位置的安裝調節孔。