[發(fā)明專利]基于管式爐的卷對卷氣相沉積裝置

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• 申請?zhí)枺?/td>: 201410252074.4
• 申請日: 2014-06-09
• 公開（公告）號: CN103993296A
• 公開（公告）日: 2014-08-20
• 發(fā)明（設計）人: 汪偉;劉兆平
• 申請（專利權）人: 中國科學院寧波材料技術與工程研究所
• 主分類號: C23C16/54
• 分類號: C23C16/54
• 代理公司: 北京集佳知識產權代理有限公司 11227
• 代理人: 魏曉波

1.一種基于管式爐的卷對卷氣相沉積裝置，包括管式加熱爐(1)、供氣系統(tǒng)和真空泵組，管式加熱爐(1)包括爐體和設置在所述爐體內的反應腔體，其特征在于，還包括：

設置在所述反應腔體外側且與所述反應腔體兩端分別密封連接的第一密封倉(2)和第二密封倉(3)，所述第一密封倉(2)內設置有第一傳動裝置，所述第二密封倉(3)內設置有第二傳動裝置，所述供氣系統(tǒng)與所述反應腔體、所述第一密封倉(2)和第二密封倉(3)三者中的一個連通，且所述真空泵組與三者中另外兩個中的一個連通，所述第一密封倉(2)和所述第二密封倉(3)內均設置有用于冷卻所述第一密封倉(2)、所述第二密封倉(3)和反應基體的水冷裝置。

2.根據(jù)權利要求1所述的基于管式爐的卷對卷氣相沉積裝置，其特征在于，所述第一密封倉(2)和所述第二密封倉(3)與所述管式加熱爐(1)通過法蘭連接。

3.根據(jù)權利要求1所述的基于管式爐的卷對卷氣相沉積裝置，其特征在于，所述第一傳動裝置裝置包括：設置在所述第一密封倉(2)內用于卷繞已發(fā)生反應的反應基體的第一卷繞輥(4)和設置在所述第一密封倉(2)的外側且與所述第一卷繞輥(4)連接的第一電機(5)；

所述第二傳動裝置包括：設置在所述第二密封倉(3)內用于卷繞未發(fā)生反應的反應基體的第二卷繞輥(6)和設置在所述第二密封倉(3)的外側且與所述第二卷繞輥(6)連接的第二電機(7)。

4.根據(jù)權利要求1所述的基于管式爐的卷對卷氣相沉積裝置，其特征在于，所述水冷裝置包括：

沿所述第一密封倉(2)和所述第二密封倉(3)的外壁設置用于冷卻所述第一密封倉(2)和所述第二密封倉(3)的水冷層(8)；與所述反應基體的傳送方向垂直布置且與所述反應基體貼合用于冷卻反應基體的水冷管(9)。

5.根據(jù)權利要求1所述的基于管式爐的卷對卷氣相沉積裝置，其特征在于，所述供氣系統(tǒng)包括：

能夠承裝氫氣或者氬氣或者硅烷或者甲烷或者乙烯或者乙炔或者乙烷等氣體的氣瓶(10)，所述氣瓶(10)的個數(shù)不少于2個，所述氣瓶(10)上設置有流量計(11)。

6.根據(jù)權利要求1所述的基于管式爐的卷對卷氣相沉積裝置，其特征在于，所述真空泵組為機械泵泵組或擴散泵泵組或分子泵泵組，或者所述真空泵組為機械泵、擴散泵和分子泵中的兩種或三種組合成的泵組；

還包括與所述真空泵組通信連接用于檢測所述管式加熱爐(1)內真空度的真空計。

7.根據(jù)權利要求1所述的基于管式爐的卷對卷氣相沉積裝置，其特征在于，還包括：

設置在所述第一卷繞輥(4)上用于檢測所述反應基體張緊度的張力傳感器，所述張力傳感器與所述第二電機(7)通信連接；

與所述第一電機(5)配合的第一減速機和與所述第二電機(7)配合的第二減速機。

8.根據(jù)權利要求7所述的基于管式爐的卷對卷氣相沉積裝置，其特征在于，還包括：與所述第一電機(5)和所述第二電機(9)通信連接用于檢測所述反應基體拉伸度的行程開關(12)。