[發明專利]一種集成電路的針腳檢測方法及裝置

有效

• 申請號: 201410241005.3
• 申請日: 2014-05-30
• 公開（公告）號: CN104198500A
• 公開（公告）日: 2014-12-10
• 發明（設計）人: 周秋香
• 申請（專利權）人: 深圳市浦洛電子科技有限公司
• 主分類號: G01N21/95
• 分類號: G01N21/95
• 代理公司: 廣州市越秀區哲力專利商標事務所(普通合伙) 44288
• 代理人: 李悅;張鵬

技術領域

本發明涉及集成電路檢測領域，具體涉及一種集成電路的針腳檢測方法及裝置。?

背景技術

隨著電子設備的需求不斷增加，在快速生產集成電路的同時，集成電路的良品率也必須要得到控制，若集成電路的針腳存在異常，將直接導致產品不能使用或者影響壽命。在集成電路的生產過程中，可能會因為一些外在因素導致針腳的彎曲或者上翹，傳統的檢測手段是通過外觀檢測儀對集成電路進行拍照生成平面圖片，再通過與標準的集成電路圖片進行對比，有的是通過人工目測對比，勞動力大，而且效率低下，容易出現疏漏；還有通過設備提取圖片的目標針腳特征，再利用軟件進行分析對比，但是使用這種方式時，如果生成照片時有異常，提取目標針腳時精度低，導致對比結果偏差大。?

發明內容

為了克服現有技術的不足，本發明的目的在于提供一種集成電路的針腳檢測方法及裝置，通過對待檢測集成電路的外觀圖像進行一系列圖片處理，再系統全面對針腳部分的圖像進行分析對比，保證了對比結果的較大準確性。?

為解決上述問題，本發明所采用的技術方案如下：?

一種集成電路的針腳檢測方法，其特征在于，包括以下步驟：

步驟A：載入待檢測集成電路的外觀圖像，并標記該外觀圖像中的針腳部分為待檢測區域；

步驟F：掃描待檢測區域中每個針腳圖像的最外圍像素，并用一矩形將其進行框選并標記為待驗證針腳框；

步驟G：針對待驗證針腳框進行判斷，若同時滿足條件1、條件2和條件3，則該待驗證針腳框成功通過驗證，否則該待驗證針腳框為異常，條件1和條件2用于判斷針腳是否有斜腳異常，條件3用于判斷針腳是否有翹腳異常；

其中，條件1為：相鄰兩個待檢測針腳框的距離小于等于預設的第一距離值；條件2為：每個待檢測針腳框中線條的斜率小于等于預設的斜率值；條件3為：選取位于同一排兩端的待驗證針腳框，用一直線分別連接兩個待驗證針腳框的最外側，位于該兩個待驗證針腳之間的待驗證針腳的最外側與該直線的距離小于等于預設的第二距離值。

步驟A與步驟F之間還包括用于對外觀圖像進行優化處理的步驟,?

步驟B：將該外觀圖像作圖像二值化處理，使該外觀圖像中的針腳圖像與其它部分圖像以不同顏色區分；

步驟C：針對該外觀圖像進行腐蝕處理，以消除外觀圖像中的噪點；

步驟D：針對該外觀圖像進行膨脹處理，使待檢測區域中的每個針腳圖像膨脹為塊狀。

在步驟A與步驟F之間還包括用于進一步提高檢測效率的步驟：?

步驟E：判斷待檢測區域的數量，若數量大于1則調用多線程同時掃描每個待檢測區域，若數量為1則調用單線程掃描待檢測區域。

進一步地，在步驟G的條件1中，分別選取每個待驗證針腳框中兩條對角線的相交點，計算相鄰兩個待檢測針腳框中的相交點的距離，若相鄰兩個相交點的距離小于等于預設的第一距離值，則滿足條件1并進入條件2的判斷；?

條件2中，分別選取相鄰兩個待檢測針腳框的長度方向上的線條并分別計算該線條的斜率，若斜率均小于等于預設的斜率值，則滿足條件2并確定該相鄰兩個待檢測針腳框所表示的針腳均沒有斜腳。

在條件1中，若相鄰兩個相交點的距離大于預設的第一距離值，則執行如下判斷：將相鄰兩個待驗證針腳框的大小分別與預設的標準針腳框的大小進行對比，若某一待驗證針腳框的大小大于預設的大小值，則該待驗證針腳框為斜腳異常。?

本發明還包括另一方案為：?

一種集成電路針腳的檢測裝置，包括以下模塊：

模塊A：用于載入待檢測集成電路的外觀圖像，并標記該外觀圖像中的針腳部分為待檢測區域；

模塊F：用于掃描待檢測區域中每個針腳圖像的最外圍像素，并用一矩形將其進行框選并標記為待驗證針腳框；

模塊G：用于針對待驗證針腳框進行判斷，若同時滿足條件1、條件2和條件3，則該待驗證針腳框成功通過驗證，否則該待驗證針腳框為異常，條件1和條件2用于判斷針腳是否有斜腳異常，條件3用于判斷針腳是否有翹腳異常；

其中，條件1為：相鄰兩個待檢測針腳框的距離小于等于預設的第一距離值；條件2為：每個待檢測針腳框中線條的斜率小于等于預設的斜率值；條件3為：選取位于同一排兩端的待驗證針腳框，用一直線分別連接兩個待驗證針腳框的最外側，位于該兩個待驗證針腳之間的待驗證針腳的最外側與該直線的距離小于等于預設的第二距離值。

模塊A與模塊F之間還包括用于對外觀圖像進行優化處理的模塊,?