[發明專利]一種MEMS壓力傳感器的加蓋方法及其裝置

在審

• 申請號: 201410240484.7
• 申請日: 2014-05-30
• 公開（公告）號: CN105197873A
• 公開（公告）日: 2015-12-30
• 發明（設計）人: 王從亮;韓林森;龔平
• 申請（專利權）人: 無錫華潤安盛科技有限公司
• 主分類號: B81C1/00
• 分類號: B81C1/00;B81B7/00
• 代理公司: 無錫互維知識產權代理有限公司 32236
• 代理人: 龐聰雅

技術領域

本發明屬于壓力傳感器技術領域，涉及一種為MEMS壓力傳感器的加蓋的加蓋方法及其加蓋裝置。

背景技術

MEMS壓力傳感器是一種薄膜元件，受到壓力時變形?？梢岳脩儍x(壓阻型感測)來測量這種形變，也可以通過電容感測兩個面之間距離的變化來加以測量。其廣泛運用于汽車行業、醫療市場以及工業領域。

MEMS壓力傳感器在汽車中的一個新應用是傳動系統壓力感測，通常用于自動裝置之中，但也用于新型雙離合器傳動系統。現有技術推出了一款MEMS解決方案，使用油來保護硅薄膜，使其可以最高耐受70巴的壓力。

MEMS壓力傳感器應用于醫療市場主要充當外科手術使用的一次性低成本導管。但它們也用于昂貴的設備之中，在連續氣道正壓通氣(CPAC)機中感測壓力與差流。

而在工業領域，MEMS壓力傳感器的主要應用包括采暖通風及空調(HVAC)、水平面測量、各種工業過程與控制應用。例如，除了精確的高度氣壓測量，飛機使用傳感器監測引擎、襟翼等其它部件。

帶有蓋子的MEME壓力傳感器，把芯片裝在預開口的空腔里，然后蓋上中間開孔的蓋子，這樣既可以保護芯片，又使芯片與外界氣壓同步?，F有的加蓋方式為：人工加蓋，用鑷子夾住蓋子，蘸上膠水，放入產品的相應的凹槽里。產品蓋子尺寸較小，為3.8*4.8mm，如圖3所示，用于人工操作，效率很低，同時鑷子可能會接觸到芯片，造成芯片損傷。

發明內容

本部分的目的在于概述本發明的實施例的一些方面以及簡要介紹一些較佳實施例。在本部分以及本申請的說明書摘要和發明名稱中可能會做些簡化或省略以避免使本部分、說明書摘要和發明名稱的目的模糊，而這種簡化或省略不能用于限制本發明的范圍。

鑒于上述和/或現有MEMS壓力傳感器的加蓋方法及其裝置中存在的問題，提出了本發明。

因此，本發明的一個目的是提供一種MEMS壓力傳感器的加蓋方法，以改變現有的人工加蓋的弊端。

為解決上述技術問題，本發明提供了如下技術方案：一種MEMS壓力傳感器的加蓋方法，包括，用點膠裝置將MEMS壓力傳感器的凹槽邊緣涂上膠水；以及，利用吸附裝置吸取蓋子放置在所述MEMS壓力傳感器的凹槽內，完成加蓋。

作為本發明所述MEMS壓力傳感器的加蓋方法的一種優選方案，其中：在所述用點膠裝置將MEMS壓力傳感器的凹槽邊緣涂上膠水之后，吸嘴吸取蓋子放置在所述MEMS壓力傳感器的凹槽內，完成加蓋之前，還包括，將裝載蓋子的治具內裝滿蓋子。

本發明的另一個目的是，提供一種根據所述的MEMS壓力傳感器的加蓋方法所利用的裝置，以實現半自動化生產，減少人工干預，提升產品質量的穩定性。

為解決上述技術問題，本發明提供了如下技術方案：一種采用MEMS壓力傳感器的加蓋方法的裝置，包括，點膠裝置，所述點膠裝置能夠將MEMS壓力傳感器的凹槽邊緣涂上膠水；吸附裝置，所述吸附裝置能夠通過真空泵使得吸嘴吸附蓋子；以及，控制裝置，所述控制裝置能夠控制點膠裝置將MEMS壓力傳感器的凹槽邊緣涂上膠水，并通過控制真空泵使得吸嘴吸附蓋子。

作為本發明所述裝置的一種優選方案，其中：所述點膠裝置通過軟管與所述控制裝置相連接，所述點膠裝置包括點膠頭。

作為本發明所述裝置的一種優選方案，其中：所述點膠頭包括，針管，所述針管為中空結構，其上端與所述軟管相連接；活塞，所述活塞設置于所述針管內部，能夠推動所述針管中的液體定向移動；以及，針頭，所述針頭設置于所述針管的下端。

本發明與現有技術相比，實現了半自動化生產，減少了人工干預，提升了產品質量的穩定性，提升了產能。加蓋作業時，作業員遠離膠水等化學產品，對作業員的EHS(環境Environment、健康Health、安全Safety)有保護。

附圖說明

為了更清楚地說明本發明實施例的技術方案，下面將對實施例描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本發明的一些實施例，對于本領域普通技術人員來講，在不付出創造性勞動性的前提下，還可以根據這些附圖獲得其它的附圖。其中：

圖1為本發明所述裝置的結構示意圖；

圖2為本發明向所述MEMS壓力傳感器的凹槽點加膠水的示意圖；

圖3為本發明所述MEMS壓力傳感器的凹槽示意圖。

具體實施方式

為使本發明的上述目的、特征和優點能夠更加明顯易懂，下面結合附圖對本發明的具體實施方式做詳細的說明。