[發明專利]銀銪合金鍵合絲及其制造方法

在審

• 申請號: 201410234934.1
• 申請日: 2014-05-30
• 公開（公告）號: CN104022094A
• 公開（公告）日: 2014-09-03
• 發明（設計）人: 徐云管;李湘平;彭庶瑤;梁建華;涂海情
• 申請（專利權）人: 江西藍微電子科技有限公司
• 主分類號: H01L23/49
• 分類號: H01L23/49;H01L21/48;C22C5/06
• 代理公司: 南昌洪達專利事務所 36111
• 代理人: 劉凌峰

1.一種銀銪合金鍵合絲，其特征在于它由下列重量百分比的材料制備而成：金（Au）占0.5%-1%、銪（Eu）占2%-3%，銀（Ag）占96%-97.5%。

2.根據權利要求1所述的銀銪合金鍵合絲，其特征是所使用的材料中，金的純度大于99.99%、銀的純度大于99.9999%、銪的純度大于99.9%。

3.一種權利要求1所述的銀銪合金鍵合絲的制造方法，其特征是制作的工藝步驟和方法如下：

①?提取高純銀：以國家標準GB/T4135中1號銀為基材，經電鍍后提取純度大于99.9999%的高純銀，再經清洗、烘干備用；

②?制備成銀合金鑄錠：提取純度大于99.9999%的高純銀，然后加入金和銪；其成分含量按照重量百分比分別為：金占0.5%-1%、銪占2%-3%，其余為銀，之和等于100%，這些金屬經機械混合后放入高純石墨坩堝中，在惰性氣體保護條件下使用感應電爐加熱使其熔化，進而制備成銀合金鑄錠；

③?連鑄成鑄態銀銪合金母線：將制備好的銀合金鑄錠加入有氮氣保護的水平連鑄金屬連鑄室，應用中頻感應加熱熔化、精煉和除氣后，將熔液注入儲液池保溫，完成對銀銪合金熔液的水平連鑄，得到Φ3mm左右的鑄態銀銪合金母線；

④?粗拔：將Φ3mm左右的銀銪合金母線拉拔成直徑為1mm左右的銀銪合金絲；

⑤?熱處理：將直徑為1mm左右的銀銪合金絲進行退火；

⑥?精拔：對經熱處理后的銀銪合金絲精密拉拔成直徑分別為13μm-50μm的成品銀銪合金鍵合絲；

⑦?熱處理：將精拔后的銀銪合金鍵合絲進行退火；

⑧?表面清洗：先用稀釋后的酸液對鍵合絲進行清洗，然后經超聲波清洗，再經高純水清洗、烘干；

⑨?分卷：將成品銀銪合金鍵合絲進行復繞、分卷、包裝。