[發(fā)明專利]激光加工裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201410224998.3
• 申請日: 2014-05-26
• 公開（公告）號: CN104209650B
• 公開（公告）日: 2018-09-11
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 小林賢史
• 申請（專利權(quán)）人: 株式會社迪思科
• 主分類號: B23K26/042
• 分類號: B23K26/042;B23K26/03
• 代理公司: 北京三友知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11127
• 代理人: 李輝;金玲

1.一種激光加工裝置，其具有：卡盤臺，其具有保持被加工物的保持面；激光光線照射構(gòu)件，其具有聚光物鏡，該聚光物鏡向該卡盤臺所保持的被加工物會聚照射激光光線；高度位置檢測構(gòu)件，其檢測該卡盤臺所保持的被加工物的上表面高度位置；聚光點位置調(diào)整構(gòu)件，其使該聚光物鏡在Z軸方向上移動，該Z軸方向是相對于該卡盤臺的保持面垂直的方向；加工進給構(gòu)件，其在X軸方向上對該卡盤臺和該激光光線照射構(gòu)件進行相對的加工進給，該X軸方向是加工進給方向；X軸方向位置檢測構(gòu)件，其用于檢測該卡盤臺的X軸方向位置；以及控制構(gòu)件，其向該聚光點位置調(diào)整構(gòu)件、該加工進給構(gòu)件和顯示構(gòu)件輸出控制信號，該激光加工裝置的特征在于，

該控制構(gòu)件具有存儲構(gòu)件，該存儲構(gòu)件存儲高度計測值和X坐標(biāo)，該高度計測值是通過在使該加工進給構(gòu)件進行工作而在X軸方向上移動該卡盤臺所保持的被加工物的同時使該高度位置檢測構(gòu)件進行工作而計測被加工物的高度位置而得到的，該X坐標(biāo)是基于來自該X軸方向位置檢測構(gòu)件的檢測信號的坐標(biāo)，該控制構(gòu)件使該加工進給構(gòu)件進行工作而在X軸方向上移動該卡盤臺所保持的被加工物，同時根據(jù)該存儲構(gòu)件所存儲的與X坐標(biāo)對應(yīng)的高度計測值控制該聚光點位置調(diào)整構(gòu)件，并且與X坐標(biāo)對應(yīng)地在顯示構(gòu)件上顯示該高度位置檢測構(gòu)件檢測到的高度信息，其中，

在該顯示構(gòu)件所顯示的與X坐標(biāo)對應(yīng)的高度信息的擺幅處于允許范圍時，該控制構(gòu)件允許該激光光線照射構(gòu)件進行工作，在與X坐標(biāo)對應(yīng)的高度信息的擺幅不處于允許范圍的情況下，該控制構(gòu)件不允許該激光光線照射構(gòu)件進行工作，

關(guān)于該高度信息，其相對于基準(zhǔn)高度位置的位移量，在高度位置位移映射圖根據(jù)輸入到該控制構(gòu)件的來自該X軸方向位置檢測構(gòu)件的檢測信號與來自該高度位置檢測構(gòu)件的高度位置信號是在相同時刻被檢測到的信號而生成、且沒有該聚光點位置調(diào)整構(gòu)件的工作延遲的情況下，該聚光點位置調(diào)整構(gòu)件的工作追隨該被加工物的高度位置，從而沿著X軸而成為直線；在高度位置位移映射圖根據(jù)輸入到該控制構(gòu)件的來自該X軸方向位置檢測構(gòu)件的檢測信號與來自該高度位置檢測構(gòu)件的高度位置信號是在時間上產(chǎn)生偏差的信號生成、或者存在該聚光點位置調(diào)整構(gòu)件的工作延遲的情況下，該聚光點位置調(diào)整構(gòu)件的工作不追隨該被加工物的高度位置，該高度信息相對于基準(zhǔn)高度位置的位移量振擺。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的激光加工裝置，其中，

該控制構(gòu)件使該加工進給構(gòu)件、高度位置檢測構(gòu)件和第1聚光點位置調(diào)整構(gòu)件進行工作，同時使得在該存儲構(gòu)件所存儲的對應(yīng)于X坐標(biāo)對應(yīng)的高度信息中的X坐標(biāo)與該卡盤臺的X坐標(biāo)之間產(chǎn)生偏差，調(diào)整成高度信息的擺幅達到允許范圍，將高度信息的擺幅達到允許范圍內(nèi)時的X坐標(biāo)的偏差量確定為校正值。