[發明專利]一種高精度激光散斑微振動測量系統及測量方法

有效

• 申請號: 201410213410.4
• 申請日: 2014-05-20
• 公開（公告）號: CN103983341B
• 公開（公告）日: 2017-09-22
• 發明（設計）人: 王程;王曉忠;付宏燕;黃朝紅
• 申請（專利權）人: 廈門大學
• 主分類號: G01H9/00
• 分類號: G01H9/00
• 代理公司: 深圳市合道英聯專利事務所(普通合伙)44309
• 代理人: 劉輝,廉紅果

1.一種高精度激光散斑微振動測量系統，其特征在于：包括帶通濾波器、成像透鏡、分束器、空間光調制器、光探測器及調制器驅動系統，所述帶通濾波器設于所述成像透鏡前端的光路上，其波長與激光光源波長一致，所述空間光調制器為透過型空間光調制器，所述成像透鏡、分束器、空間光調制器及光探測器依次光連接并位于同一軸線上，所述調制器驅動系統包括成像裝置及控制驅動模塊，所述成像裝置與所述分束器光連接并輸出散斑圖樣到控制驅動模塊進行處理，所述控制驅動模塊輸出驅動信號到空間光調制器。

2.如權利要求1所述的一種高精度激光散斑微振動測量系統，其特征在于：所述成像裝置采用CCD圖像傳感器。

3.一種利用如權利要求1-2任一項所述的高精度激光散斑微振動測量系統測量微振動的方法，其特征在于，包括以下步驟：

S1、激光經被測物體散射產生散斑，散斑經成像透鏡后由分束器分成兩路傳播，一路照射到成像裝置，另一路照射到空間光調制器；

S2、調制器驅動系統根據采集到散斑圖樣生成驅動信號，并維持驅動信號不變，空間光調制器基于驅動信號進行調制，使其對輸入光的透過率分布與調制器驅動系統采集到散斑圖樣的亮暗一致；

S3、空間光調制器將被測物體振動產生的散斑變化轉化為空間光調制器輸出光的光通量的變化；

S4、光探測器探測到空間光調制器輸出光的光通量的變化，并將其轉換為光電流的變化；

S5、根據光電流的變化，計算得出被測物體的微振動信息；

S6、根據步驟S5中得到的微振動信息計算信噪比，若信噪比低于預先設定的閾值時，重復步驟S2,對空間光調制器的驅動信號進行更新，使其對輸入光的透過率分布與調制器驅動系統采集到散斑圖案的亮暗一致。