[發(fā)明專利]探針單元以及基板檢查裝置

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 201410206001.1
• 申請日: 2014-05-15
• 公開（公告）號(hào): CN104297535A
• 公開（公告）日: 2015-01-21
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 小林昌史
• 申請（專利權(quán)）人: 日置電機(jī)株式會(huì)社
• 主分類號(hào): G01R1/073
• 分類號(hào): G01R1/073;G01R31/00
• 代理公司: 上海專利商標(biāo)事務(wù)所有限公司 31100
• 代理人: 俞丹

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及包括多個(gè)探針和支承各探針的支承部的探針單元、以及包括該探針單元的基板檢查裝置。

背景技術(shù)

作為這種探針單元，已知有日本專利特開2012-181186號(hào)公報(bào)所披露的檢查治具。該檢查治具包括治具主體部、限制構(gòu)件和電極體等而構(gòu)成。治具主體部包括檢查側(cè)支承體和電極側(cè)支承體而構(gòu)成，該檢查側(cè)支承體具有將觸點(diǎn)(探針)的前端引導(dǎo)至被檢查物的檢查引導(dǎo)孔，該電極側(cè)支承體具有將觸點(diǎn)的后端引導(dǎo)至電極的電極引導(dǎo)孔。限制構(gòu)件限制治具主體部朝向前方移動(dòng)。電極體具有與觸點(diǎn)的后端相接觸的多個(gè)電極而構(gòu)成，安裝在電極側(cè)支承體的后方。另外，電極體上安裝有對于電極側(cè)支承體朝向前方施力的施力單元。

這里，觸點(diǎn)由導(dǎo)電體所構(gòu)成的導(dǎo)體部、和覆蓋導(dǎo)體部的外周面的絕緣部構(gòu)成。在這種情況下，在觸點(diǎn)的前端設(shè)置有未形成絕緣部的第一端部，在觸點(diǎn)的后端設(shè)置有未形成絕緣部的第二端部。觸點(diǎn)的第一端部在不進(jìn)行檢查時(shí)，位于檢查側(cè)支承體的檢查引導(dǎo)孔內(nèi)，在檢查時(shí)，也在位于檢查側(cè)支承體的檢查引導(dǎo)孔內(nèi)的狀態(tài)下其前端與被檢查物相接觸。另外，在電極側(cè)支承體的后方表面與電極體的前方表面之間，在不進(jìn)行檢查時(shí)形成間隙，在檢查時(shí)該間隙減小(或消失)。另外，觸點(diǎn)中的第二端部的后端不管是在不進(jìn)行檢查時(shí)還是檢查時(shí)都與電極的接觸面相接觸。

該檢查治具在朝向被檢查物移動(dòng)時(shí)，檢查側(cè)支承體的相對面與被檢查物相抵接，觸點(diǎn)的前端與被檢查物相接觸。另外，此時(shí)，檢查側(cè)支承體和電極側(cè)支承體克服施力單元的作用力，朝向電極體相對移動(dòng)，觸點(diǎn)的后端被電極按壓，觸點(diǎn)的中間部分發(fā)生撓曲。另外，由于該撓曲使得觸點(diǎn)的前端以預(yù)定的接觸壓力與被檢查物相接觸。

現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)

專利文獻(xiàn)

專利文獻(xiàn)1：日本專利特開2012－181186號(hào)公報(bào)(第6-13頁、圖1～圖4)

發(fā)明內(nèi)容

發(fā)明所要解決的技術(shù)問題

然而，現(xiàn)有的檢查治具中存在如下問題。即，該檢查治具中，通過使觸點(diǎn)的后端側(cè)的絕緣部位于電極引導(dǎo)孔內(nèi)，并減小電極引導(dǎo)孔的內(nèi)周面與絕緣部的間隙，從而將觸點(diǎn)的后端側(cè)的偏離量抑制得較小。另外，該檢查治具中，隨著電極側(cè)支承體的后方表面與電極體的前方表面之間的間隙的增減，從電極側(cè)支承體突出的觸點(diǎn)的后端側(cè)的突出量會(huì)發(fā)生增減。即，觸點(diǎn)的后端側(cè)相對于電極側(cè)支承體會(huì)發(fā)生相對移動(dòng)。因此，該檢查治具中存在如下問題：觸點(diǎn)的后端側(cè)在移動(dòng)時(shí)會(huì)相對于電極引導(dǎo)孔的邊緣部發(fā)生滑動(dòng)，由此強(qiáng)度較低的絕緣部發(fā)生磨損，其結(jié)果是耐久性較低。另外，這種檢查治具中，一般而言，觸點(diǎn)會(huì)在相對于電極側(cè)支承體傾斜的狀態(tài)下被支承。因此，上述檢查治具中，在觸點(diǎn)的后端側(cè)從電極側(cè)支承體突出的突出量發(fā)生增減時(shí)，觸點(diǎn)的后端會(huì)在與電極體的表面平行的方向上移動(dòng)(橫向偏離)，由此也可能會(huì)導(dǎo)致觸點(diǎn)的前端部相對于電極發(fā)生錯(cuò)位。

本發(fā)明是鑒于上述問題而完成的，其主要目的在于提供耐久性得到提高的同時(shí)可防止探針的基端部與電極之間發(fā)生錯(cuò)位的探針單元以及基板檢查裝置。

【課題を解決するための手段】

為了達(dá)到上述目的，權(quán)利要求1所述的探針單元包括：多個(gè)探針，使該多個(gè)探針的前端部與接觸對象相接觸以用于進(jìn)行電信號(hào)的輸入輸出；支承部，該支承部支承各探針；以及電極板，該電極板具有與所述各探針的各基端部分別相接觸以用于與外部裝置之間進(jìn)行所述電信號(hào)的輸入輸出的多個(gè)電極，所述支承部包括：第一支承板，該第一支承板具有第一支承孔以支承插通到該第一支承孔中的所述探針的所述前端部，并且在使該前端部與所述接觸對象相接觸時(shí)所述第一支承板的一個(gè)表面與該接觸對象相接觸；第二支承板，該第二支承板具有第二支承孔以支承插通到該第二支承孔中的所述探針的所述基端部，并且以與所述電極板相抵接的狀態(tài)固定在該電極板上；間隔件，該間隔件配置在所述第一支承板與第二支承板之間且維持各支承板分隔開的狀態(tài)；以及間隙調(diào)整機(jī)構(gòu)，該間隙調(diào)整機(jī)構(gòu)在所述接觸對象與所述一個(gè)表面未接觸的非接觸狀態(tài)下，維持所述間隔件與所述第一支承板之間以及所述間隔件與所述第二支承板之間至少有一方產(chǎn)生間隙的狀態(tài)，并且在該接觸對象與該一個(gè)表面相接觸且該探針單元被按壓向該接觸對象的按壓狀態(tài)下，容許該間隙縮小，所述支承部支承所述探針，以使得不管是在所述非接觸狀態(tài)下還是所述按壓狀態(tài)下，都維持在所述基端部與所述電極相接觸且所述前端部未從所述一個(gè)表面突出的狀態(tài)，并且在所述按壓狀態(tài)下直到所述間隙消失為止的過程中使所述前端部與所述接觸對象相接觸。