[發(fā)明專利]一種利用離子注入制備磷酸鈦氧鉀薄膜的方法有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201410199630.6 | 申請(qǐng)日： | 2014-05-12 |
| 公開（公告）號(hào)： | CN103952766A | 公開（公告）日： | 2014-07-30 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 盧霏;馬鈺潔;馬長東 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人： | 山東大學(xué) |
| 主分類號(hào)： | C30B31/22 | 分類號(hào)： | C30B31/22;C30B33/02;C30B29/10;C30B29/64 |
| 代理公司： | 濟(jì)南圣達(dá)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 37221 | 代理人： | 崔苗苗 |
| 地址： | 250061 山東*** | 國省代碼： | 山東;37 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 利用 離子 注入 制備 磷酸 鈦氧鉀 薄膜 方法 | ||
1.一種利用離子注入制備磷酸鈦氧鉀薄膜的方法，其特征是，包括步驟如下：
(1)將磷酸鈦氧鉀晶體分別放入乙醇和丙酮中超聲清洗處理后，用氮?dú)獯蹈桑?/p>
(2)將低能量的輕離子-H離子或He離子，在常溫下注入到磷酸鈦氧鉀材料中，注入離子能量范圍是100keV～300keV，注入離子劑量范圍1×1016離子/平方厘米～10×1016離子/平方厘米；注入離子束流密度是3～4μA/cm2；
(3)將注入輕離子后的材料通過樹脂膠綁定在襯底上，或?qū)⒆⑷胼p離子后的材料直接鍵合在襯底上，注入面粘在襯底上；
(4)對(duì)上述樣品在空氣中進(jìn)行退火處理，退火溫度由室溫逐步升高，退火的高溫范圍為200～600℃，退火總時(shí)間2～6小時(shí)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種利用離子注入制備磷酸鈦氧鉀薄膜的方法，其特征是，步驟(2)所述的輕離子注入面是拋光面，且注入面分有兩種切向，X切向和Z切向。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種利用離子注入制備磷酸鈦氧鉀薄膜的方法，其特征是，步驟(2)所述的輕離子為H離子注入到X切向。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種利用離子注入制備磷酸鈦氧鉀薄膜的方法，其特征是，注入離子能量范圍選100keV～200keV，注入離子劑量范圍5×1016離子/平方厘米～8×1016離子/平方厘米。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種利用離子注入制備磷酸鈦氧鉀薄膜的方法，其特征是，步驟(3)中提到樹脂膠的組成為：環(huán)氧樹脂和硬化劑按照質(zhì)量比10:1混合在一起。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種利用離子注入制備磷酸鈦氧鉀薄膜的方法，其特征是，退火是從室溫升到200℃，退火時(shí)間是4個(gè)小時(shí)。
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