[發(fā)明專利]壓電駐極體薄膜及其制作方法在審
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201410190846.6 | 申請(qǐng)日: | 2014-05-07 |
| 公開(公告)號(hào): | CN104044327A | 公開(公告)日: | 2014-09-17 |
| 發(fā)明(設(shè)計(jì))人: | 成鵬;張強(qiáng) | 申請(qǐng)(專利權(quán))人: | 深圳市明鑫高分子技術(shù)有限公司 |
| 主分類號(hào): | B32B37/06 | 分類號(hào): | B32B37/06;B32B37/10;B32B27/08;B32B15/085 |
| 代理公司: | 廣州華進(jìn)聯(lián)合專利商標(biāo)代理有限公司 44224 | 代理人: | 生啟 |
| 地址: | 518000 廣東省深圳市寶安區(qū)*** | 國(guó)省代碼: | 廣東;44 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 壓電 駐極體 薄膜 及其 制作方法 | ||
1.一種壓電駐極體薄膜的制作方法,其特征在于,包括如下步驟:
將氟化乙烯丙烯共聚物薄膜與聚四氟乙烯薄膜交替層疊在一起并置于一基底上,交疊之后最外的兩層為聚四氟乙烯薄膜,其中,所述氟化乙烯丙烯共聚物薄膜的厚度為7~15μm,所述聚四氟乙烯薄膜的厚度為2~7μm;
將一網(wǎng)格狀壓板置于與所述基底相對(duì)的最外側(cè)的聚四氟乙烯薄膜上,并在所述壓板上施加壓力,加熱所述氟化乙烯丙烯共聚物薄膜與所述聚四氟乙烯薄膜至250~300℃并保持12~18分鐘,冷卻后拆除所述壓板及所述基底,得到中部開設(shè)微孔的所述壓電駐極體薄膜。
2.如權(quán)利要求1所述的壓電駐極體薄膜的制作方法,其特征在于,所述氟化乙烯丙烯共聚物薄膜的數(shù)量為多個(gè)。
3.如權(quán)利要求1所述的壓電駐極體薄膜的制作方法,其特征在于,在所述壓板上施加的壓力5~22KPa。
4.如權(quán)利要求1所述的壓電駐極體薄膜的制作方法,其特征在于,所述壓板上網(wǎng)孔的目數(shù)為10~100目;網(wǎng)孔的孔形狀為正方形、正六邊形或者圓形;網(wǎng)孔的氣孔率為50~80%;網(wǎng)格線寬為0.1~0.5mm。
5.如權(quán)利要求1或4所述的壓電駐極體薄膜的制作方法,其特征在于,所述壓板的孔為孔徑大小在0.125mm~1.25mm×0.125mm~1.25mm之間的方形孔,或者為邊長(zhǎng)為0.06mm~0.55mm的正六邊形孔。
6.如權(quán)利要求1所述的壓電駐極體薄膜的制作方法,其特征在于,還包括對(duì)制作得到的薄膜進(jìn)行電極化處理的步驟。
7.如權(quán)利要求6所述的壓電駐極體薄膜的制作方法,其特征在于,所述電極化處理的具體步驟包括:將所述壓電駐極體薄膜置于平板電極上,調(diào)節(jié)針電極與所述平板電極之間的距離為3~12cm,以12~32KV的直流電壓進(jìn)行恒壓電暈充電30~120s。
8.如權(quán)利要求6或7所述的壓電駐極體薄膜的制作方法,其特征在于,還包括在電極化處理之后在所述壓電駐極體薄膜的兩側(cè)蒸鍍厚度為80~120nm的金屬電極層的步驟。
9.如權(quán)利要求8所述的壓電駐極體薄膜的制作方法,其特征在于,所述金屬電極層為鋁電極層、鎳電極層或銅電極層。
10.一種由如權(quán)利要求1~9中任一項(xiàng)所述的壓電駐極體薄膜的制作方法制作的壓電駐極體薄膜。
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