[發明專利]生產系統的控制方法及裝置

有效

• 申請號: 201410188627.4
• 申請日: 2014-05-06
• 公開（公告）號: CN105094066B
• 公開（公告）日: 2018-02-02
• 發明（設計）人: 王君;譚小兵
• 申請（專利權）人: 中芯國際集成電路制造（上海）有限公司
• 主分類號: G05B19/418
• 分類號: G05B19/418;G06Q50/04
• 代理公司: 北京康信知識產權代理有限責任公司11240
• 代理人: 江舟,吳貴明

技術領域

本發明涉及半導體制造領域，具體而言，涉及一種生產系統的控制方法及裝置。

背景技術

在半導體制造過程中，由于生產工藝和過程極其復雜，每一批次的產品在生產過程中都要經過不同的系統，執行許多不同的生產步驟。然而，在當前的生產線上，每一批次的產品執行不同步驟中的不同動作時，或多或少都存在浪費時間的現象。而現有技術中對生產步驟所使用時間的統計數據分散于多個系統中，不能直觀可見，進而不能進行有效地數據分析以避免浪費生產時間，因而導致延長了生產的生命周期，并降低了生產系統的生產效率。

針對上述的問題，目前尚未提出有效的解決方案。

發明內容

本發明實施例提供了一種生產系統的控制方法及裝置，以至少解決由于統計的時間信息分散于多個系統中，不能有效地統計生產浪費的時間，導致生產系統的生產效率降低的技術問題。

根據本發明實施例的一個方面，提供了一種生產系統的控制方法，包括：獲取生產現場中每批待生產產品在各個生產步驟中所執行的事件的時間信息；根據時間信息計算每批待生產產品執行相同的事件的平均執行時間，和/或，計算事件的平均執行時間與生產系統的生命周期的比值，其中，生命周期為生產系統中所有事件的執行時間的總和；根據平均執行時間和/或比值調整對生產系統的控制。

可選地，獲取生產現場中每批待生產產品在各個生產步驟中所執行的事件的時間信息之前，包括：將每批待生產產品的各個生產步驟拆分成多個事件，其中，每個事件標識每批待生產產品在生產步驟中所執行的單個操作，事件包括動作事件及等待事件。

可選地，根據時間信息計算每批待生產產品執行相同的事件的平均執行時間，和/或，計算事件的平均執行時間與生產系統的生命周期的比值包括：計算得出等待事件及動作事件的平均執行時間，和/或分別計算等待事件的平均執行時間與生命周期的第一比值及動作事件的平均執行時間與生命周期的第二比值。

可選地，根據平均執行時間和/或比值調整對生產系統的控制包括：判斷等待事件的平均執行時間是否大于第一預定閾值；若判斷出等待事件的平均執行時間大于第一預定閾值，則 指示減小每批待生產產品執行等待事件的執行時間；或者，判斷動作事件的平均執行時間是否大于第二預定閾值；若判斷出動作事件的平均執行時間大于第二預定閾值，則指示調整每批待生產產品執行動作事件時的執行路徑，以減小每批待生產產品執行動作事件的執行時間。

可選地，根據平均執行時間和/或比值調整對生產系統的控制包括：判斷等待事件的平均執行時間與生命周期的第一比值是否大于第三預定閾值；若判斷出等待事件的平均執行時間與生命周期的第一比值大于第三預定閾值，則指示減小每批待生產產品執行等待事件的執行時間；或者，判斷動作事件的平均執行時間與生命周期的第二比值是否大于第四預定閾值；若判斷出動作事件的平均執行時間與生命周期的第二比值大于第四預定閾值，則指示調整每批待生產產品執行動作事件時的執行路徑，以減小每批待生產產品執行動作事件的執行時間。

可選地，根據平均執行時間和/或比值調整對生產系統的控制包括：若判斷出等待事件的平均執行時間大于第五預定閾值且等待事件的平均執行時間與生命周期的第一比值大于第六預定閾值，則指示減小每批待生產產品執行等待事件的執行時間；或者，若判斷出動作事件的平均執行時間大于第七預定閾值且動作事件的平均執行時間與生命周期的第二比值大于第八預定閾值，則指示調整每批待生產產品執行動作事件時的執行路徑，以減小每批待生產產品執行動作事件的執行時間。

根據本發明實施例的另一方面，還提供了一種生產系統的控制裝置，包括：獲取單元，用于獲取生產現場中每批待生產產品在各個生產步驟中所執行的事件的時間信息；計算單元，用于根據時間信息計算每批待生產產品執行相同的事件的平均執行時間，和/或，計算事件的平均執行時間與生產系統的生命周期的比值，其中，生命周期為生產系統中所有事件的執行時間的總和；調整單元，用于根據平均執行時間和/或比值調整對生產系統的控制。

可選地，該裝置還包括：拆分單元，用于將每批待生產產品的各個生產步驟拆分成多個事件，其中，每個事件標識每批待生產產品在生產步驟中所執行的單個操作，事件包括動作事件及等待事件。

可選地，計算單元包括：第一計算模塊，用于計算得出等待事件及動作事件的平均執行時間；和/或第二計算模塊，用于分別計算等待事件的平均執行時間與生命周期的第一比值及動作事件的平均執行時間與生命周期的第二比值。