[發(fā)明專利]MEMS傳感器器件和相關MEMS傳感器器件的晶片級組件有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201410181932.0 | 申請日： | 2014-04-28 |
| 公開（公告）號： | CN104140071B | 公開（公告）日： | 2017-06-30 |
| 發(fā)明（設計）人： | S·康蒂;M·佩爾勒蒂;R·卡米納蒂;L·巴爾多;A·莫塞利 | 申請（專利權）人： | 意法半導體股份有限公司 |
| 主分類號： | B81B7/00 | 分類號： | B81B7/00 |
| 代理公司： | 北京市金杜律師事務所11256 | 代理人： | 王茂華 |
| 地址： | 意大利阿格*** | 國省代碼： | 暫無信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | mems 傳感器 器件 相關 晶片 組件 | ||
1.一種MEMS傳感器器件組件，包括：
第一裸片，具有內(nèi)表面和外表面，微機械檢測結(jié)構位于所述內(nèi)表面上；以及
第二裸片，具有內(nèi)表面和外表面，所述第二裸片集成被可操作地耦合到所述微機械檢測結(jié)構的電子電路，所述第二裸片的所述內(nèi)表面耦合到所述第一裸片的所述內(nèi)表面，所述第一裸片的所述外表面和所述第二裸片的所述外表面是所述組件的暴露的外表面，并且所述外表面中的至少一個外表面被配置為放置成與所述組件外部的結(jié)構直接接觸，其中所述第二裸片包括位于靠近所述微機械檢測結(jié)構的腔體，并且其中所述微機械檢測結(jié)構是第一微機械檢測結(jié)構，所述組件進一步包括集成第二微機械檢測結(jié)構的第三裸片，所述第三裸片被固定到所述第二裸片的所述內(nèi)表面、被容納在所述第二裸片的所述腔體中、并以一定距離面向所述第一微機械檢測結(jié)構，所述第二微機械檢測結(jié)構被電耦合到所述電子電路。
2.根據(jù)權利要求1所述的組件，其中所述第一裸片的所述外表面和所述第二裸片的所述外表面在各自的平行平面內(nèi)，并且所述第一裸片和所述第二裸片在橫切于所述平面的方向上耦合。
3.根據(jù)權利要求1所述的組件，其中所述第一裸片和所述第二裸片被配置成被機械及電氣地耦合至所述組件外部的結(jié)構，而不引入封裝材料。
4.根據(jù)權利要求1所述的組件，其中所述第一裸片的所述外表面和所述第二裸片的所述外表面的至少一個外表面被配置成直接耦合到印刷電路板上。
5.根據(jù)權利要求4所述的組件，其中被配置為直接耦合到所述印刷電路板的所述外表面包括被配置為將所述組件電耦合到所述印刷電路板的第一電連接元件。
6.根據(jù)權利要求5所述的組件，進一步包括：
第二電連接元件，位于所述第一裸片的所述內(nèi)表面與所述第二裸片的所述內(nèi)表面之間，并且將所述第一微機械檢測結(jié)構電耦合到所述電子電路；
導電通孔，延伸穿過所述第一裸片和所述第二裸片中的一個裸片；以及
第三電連接元件，位于所述第一裸片的所述內(nèi)表面和所述第二裸片的所述內(nèi)表面之間，并且被配置為通過所述導電通孔電耦合到所述第一電連接元件。
7.根據(jù)權利要求1所述的組件，包括在所述第一裸片和所述第二裸片之間的耦合環(huán)，所述耦合環(huán)將所述第一裸片和所述第二裸片耦合在一起，所述耦合環(huán)環(huán)繞所述第一微機械檢測結(jié)構。
8.根據(jù)權利要求1所述的組件，其中在所述第二裸片中的所述腔體具有側(cè)壁，所述組件進一步包括具有相應地位于所述側(cè)壁上的相應部分的導電路徑，以及在所述第三裸片中的所述第二微機械檢測結(jié)構通過所述導電路徑被耦合到所述電子電路。
9.根據(jù)權利要求8所述的組件，包括集成第三微機械檢測結(jié)構的第四裸片，所述第四裸片固定到所述第二裸片的所述內(nèi)表面并且被容納在所述第二裸片中的所述腔體中，所述第三微機械檢測結(jié)構被電耦合到所述電子電路。
10.根據(jù)權利要求1所述的組件，其中所述第一微機械檢測結(jié)構是聲轉(zhuǎn)換器，并且包括具有第一腔體的半導體材料的襯底，懸在所述第一腔體之上的膜，和電容耦合到所述膜的剛性板。
11.根據(jù)權利要求10所述的組件，其中：
在所述第一裸片中的所述腔體與所述組件外部的環(huán)境流體接觸，并允許聲壓波進入所述組件；
所述第二裸片包括位于接近所述第一微機械檢測結(jié)構的第二腔體；以及
所述第一腔體和所述第二腔體相應地形成所述聲轉(zhuǎn)換器的前腔室和后腔室。
12.根據(jù)權利要求1所述的組件，其中所述第一微機械檢測結(jié)構是壓力傳感器，并且包括具有懸在埋置的腔體之上的膜的半導體材料的襯底；其中所述壓力傳感器進一步包括彈性元件，所述彈性元件將所述膜耦合到所述襯底，所述膜通過在所述第一裸片中的腔體被懸在一側(cè)。
13.根據(jù)權利要求1所述的組件，其中所述第一裸片和所述第二裸片具有外部側(cè)表面，所述外部側(cè)表面橫切于所述外表面和內(nèi)表面并且被配置為放置成與外部結(jié)構直接接觸。
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