[發明專利]一種用于清除靜電吸盤表面異物的吹掃裝置

有效

• 申請號: 201410174581.0
• 申請日: 2014-04-28
• 公開（公告）號: CN103962341A
• 公開（公告）日: 2014-08-06
• 發明（設計）人: 徐春暉;邰曉東;劉瑋
• 申請（專利權）人: 上海華力微電子有限公司
• 主分類號: B08B5/02
• 分類號: B08B5/02;H01L21/67
• 代理公司: 上海天辰知識產權代理事務所(特殊普通合伙) 31275
• 代理人: 吳世華;林彥之

1.一種用于清除靜電吸盤(3)表面異物的吹掃裝置，包括垂直地面方向布置的立柱(8)、水平方向布置的懸臂梁(2)、靜電吸盤(3)、靜電吸盤支架(4)、負壓泵(5)、真空管道(6)、真空槽(7)，所述懸臂梁(2)的一端連接在立柱(8)靠近頂部的側面；其特征在于，還包括中間段噴管(13)、根部噴管(16)、頂部噴管(11)、根部盲板(18)和頂部盲板(9)，根部盲板(18)和頂部盲板(9)分別以滿焊方式連接在根部噴管(16)和頂部噴管(11)的外端，中間段噴管(13)、根部噴管(16)和頂部噴管(11)上布置有縫式開口(20)，根部噴管(16)靠近立柱(8)側的上方連接有氮氣進口管路(19)，從氮氣進口管路(19)引進的氮氣從縫式開口(20)內以垂直方向吹向靜電吸盤(3)的上表面。

2.根據權利要求1所述的吹掃裝置，其特征在于，所述中間段噴管(13)的直徑大于根部噴管(16)和頂部噴管(11)的直徑，所述中間段噴管(13)位于靜電吸盤(3)上表面中心的正上方。

3.根據權利要求1所述的吹掃裝置，其特征在于，所述頂部噴管(11)外端還有一段頂部氣流緩沖段(10)。

4.根據權利要求1所述的吹掃裝置，其特征在于，所述根部噴管(16)外端還有一段根部氣流緩沖段(17)。

5.根據權利要求1所述的吹掃裝置，其特征在于，所述中間段噴管(13)的噴嘴開口度大于根部噴管(16)和頂部噴管(11)的噴嘴開口度。

6.根據權利要求1所述的吹掃裝置，其特征在于，所述中間段噴管(13)的縫式開口(20)上方還有至少一顆呈水平方向布置的開口度調整螺栓(14)，該開口度調整螺栓(14)貫穿縫式開口(20)兩側的管壁，與縫式開口(20)的一側管壁以左旋螺紋連接，與縫式開口(20)的另一側管壁以右旋螺紋連接。

7.根據權利要求6所述的吹掃裝置，其特征在于，所述開口度調整螺栓(14)位于中間段噴管(13)的下側管壁上。

8.根據權利要求1所述的吹掃裝置，其特征在于，所述中間段噴管(13)與根部噴管(16)之間還有一段根部過渡段噴管(15)；所述中間段噴管(13)與頂部噴管(11)之間還有一段頂部過渡段噴管(12)。

9.根據權利要求1所述的吹掃裝置，其特征在于，所述縫式開口(20)的長度不小于靜電吸盤(3)上表面的直徑。

10.根據權利要求1所述的吹掃裝置，其特征在于，所述中間段噴管(13)以焊接或者螺紋連接的方式固定在懸臂梁(2)上。