[發(fā)明專利]多層封裝薄膜

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201410168188.0
• 申請日: 2014-04-24
• 公開（公告）號: CN104134756A
• 公開（公告）日: 2014-11-05
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 趙成珉;鄭昊均;蔡熙燁;徐祥準(zhǔn);徐昇旴
• 申請（專利權(quán)）人: 成均館大學(xué)校產(chǎn)學(xué)協(xié)力團(tuán)
• 主分類號: H01L51/52
• 分類號: H01L51/52;H01L51/54;H01L51/56
• 代理公司: 上海勝康律師事務(wù)所 31263
• 代理人: 李獻(xiàn)忠

1.一種多層封裝薄膜，所述多層封裝薄膜包含：

無機(jī)薄膜，所述無機(jī)薄膜含有金屬氧化物；以及有機(jī)薄膜，所述有機(jī)薄膜含有聚合物，并且所述有機(jī)薄膜在所述無機(jī)薄膜上形成，

其中，所述無機(jī)薄膜和所述有機(jī)薄膜以多層結(jié)構(gòu)形式交替堆疊。

2.如權(quán)利要求1所述的多層封裝薄膜，其中，所述金屬氧化物包含選自下述群組中的成員：氧化鋁、氧化鋯、氧化鋅、氧化硅、氮化硅、碳化硅、氮氧化硅、碳氧化硅以及它們的組合。

3.如權(quán)利要求1所述的多層封裝薄膜，其中，所述聚合物包含選自下述群組中的成員：等離子體聚合物、丙烯酸聚合物以及它們的組合。

4.如權(quán)利要求3所述的多層封裝薄膜，其中，所述等離子體聚合物包含選自下述群組中的成員：六甲基二硅氧烷、呋喃、己烷以及它們的組合。

5.如權(quán)利要求3所述的多層封裝薄膜，其中，所述丙烯酸聚合物包含選自下述群組中的成員：丙烯酸酯、聚氨酯丙烯酸酯、聚丙烯酸酯、聚烷基丙烯酸酯、聚丙烯酰胺、乙烯-丙烯酸共聚物以及它們的組合。

6.如權(quán)利要求1所述的多層封裝薄膜，其中，單層所述無機(jī)薄膜的厚度為0.1nm至20nm。

7.如權(quán)利要求1所述的多層封裝薄膜，其中，單層所述有機(jī)薄膜的厚度為20nm至2μm。

8.如權(quán)利要求1所述的多層封裝薄膜，其中，所述多層結(jié)構(gòu)包括2對至200對所述無機(jī)薄膜和所述有機(jī)薄膜。

9.一種制備多層封裝薄膜的方法，所述方法包括：

在基底上形成含有金屬氧化物的無機(jī)薄膜；以及

在所述無機(jī)薄膜上形成含有聚合物的有機(jī)薄膜，

其中，在所述基底上形成所述無機(jī)薄膜和在所述無機(jī)薄膜上形成含有所述聚合物的所述有機(jī)薄膜交替進(jìn)行，從而使所述無機(jī)薄膜和所述有機(jī)薄膜交替堆疊。

10.如權(quán)利要求9所述的方法，其中，所述無機(jī)薄膜的形成通過原子層沉積實(shí)施。

11.如權(quán)利要求9所述的方法，其中，所述有機(jī)薄膜的形成通過化學(xué)氣相沉積或原子層沉積實(shí)施。

12.如權(quán)利要求9所述的方法，其中，所述有機(jī)薄膜的形成通過在所述無機(jī)薄膜上涂覆丙烯酸單體然后對該涂覆層進(jìn)行UV-固化實(shí)施。

13.如權(quán)利要求9所述的方法，其中，所述無機(jī)薄膜的形成和/或所述有機(jī)薄膜的形成在約20℃至約120℃的溫度下實(shí)施。

14.如權(quán)利要求9所述的方法，其中，所述原子層沉積包括在移動的基底上以空間方式排列所述無機(jī)薄膜的原材料。

15.一種制造多層封裝薄膜的裝置，所述裝置包括：

基底裝載單元，基底裝載在所述基底裝載單元上；

在所述基底上沉積無機(jī)薄膜的無機(jī)薄膜沉積單元；以及

在所述無機(jī)薄膜上沉積有機(jī)薄膜的有機(jī)薄膜沉積單元，

其中，所述無機(jī)薄膜沉積單元和所述有機(jī)薄膜沉積單元按順序彼此連接，所述基底裝載單元交替移至所述無機(jī)薄膜沉積單元和所述有機(jī)薄膜沉積單元，從而使所述無機(jī)薄膜和所述有機(jī)薄膜交替沉積在所述基底上。

16.如權(quán)利要求15所述的裝置，其中，所述有機(jī)薄膜沉積單元還包含UV固化單元。

17.如權(quán)利要求15所述的裝置，其中，通過一個以上連接件將多個無機(jī)薄膜沉積單元按順序連接至所述有機(jī)薄膜沉積單元。

18.如權(quán)利要求17所述的裝置，其中，所述多個無機(jī)薄膜沉積單元和所述有機(jī)薄膜沉積單元交替排列。

19.如權(quán)利要求17所述的裝置，其中，所述有機(jī)薄膜沉積單元排列在按順序連接的單元的末端。